本实用新型公开了一种转盘与挂架组合，包括多个挂架安装在一转盘和一固定盘之间，所述多个挂架可随着该转盘的转动而绕着该转盘的转轴旋转，且相邻挂架可以互为相反的方向自转，使其在喷涂布或真空镀膜及晾烘干作业中获得较佳均匀性。所述多个挂架具有紧密...

一种真空多区磁控阴极溅射头，它包含有框、靶材，磁场密封盒帽盖，磁场组合体等主要元件。其中，框的内缘，留有凹槽，以套合靶材后，以螺丝固定于磁场密封盒帽盖上，而其固定螺丝孔，制成向外开口的双凹马蹄型螺丝槽，以方便于拆换靶材时的螺孔定位吊挂。...