本技术涉及晶圆键合技术领域，提供了一种用于晶圆键合的等离子体活化装置，包括活化单元和供气单元，活化单元包括用于收容晶圆的活化腔体，供气单元包括多个供气管路，多个供气管路均与活化腔体的内部连通，多个供气管路中的每个供气管路被构造成能够单独...

本技术涉及晶圆加工设备技术领域，提供了一种晶圆清洗甩干装置，包括底座、接料旋转单元、升降单元以及喷淋单元；接料旋转单元包括接料平台、真空组件以及驱动组件，接料平台用于承载晶圆，真空组件用于吸附承载于接料平台上的晶圆，驱动组件用于驱动接料...

本技术涉及晶圆键合对位技术领域，提供了一种可精确整列上下两片晶圆的对位装置，用于实现第一晶圆和第二晶圆的对位，包括接料组件和整列对位组件；接料组件包括接料平台，接料平台用于承载并吸附第一晶圆；整列对位组件包括多个整列单元、多个接料单元以...

本实用新型涉及晶圆压接键合技术领域，提供了一种晶圆键合设备的压接装置，包括能够沿竖直方向运动的压接轴，压接轴的底面沿其径向由内至外的依次设置有多个压接区，多个压接区均环绕压接轴的周向设置；多个压接区内均设有吸附通道，吸附通道处能够形成负...

本实用新型涉及搬运机械手技术领域，提供了一种基于空心轴电机驱动的产品搬运机构，包括搬运组件，搬运组件包括空心轴电机、连接架、安装支架以及多个吸盘；连接架的顶端与空心轴电机的输出端连接，连接架具有容纳腔，容纳腔与空心轴电机的空心轴内部连通...

本实用新型涉及一种晶圆盒定位承载装置，包括机架、承载板、定位组件以及驱动组件，承载板用于承载晶圆盒，承载板的一侧与机架铰接以形成铰接点；定位组件设置于承载板上，定位组件用于对晶圆盒进行限位；驱动组件用于驱动承载板以铰接点为圆心转动，以通...

本发明涉及视觉检测生产设备技术领域，提供了一种产品定位识别搬运装置，包括输送机构以及定位识别机构，输送机构用于沿输送路径输送产品，定位识别机构包括定位组件和识别组件，定位组件设置于输送机构的末端，识别组件紧邻定位组件设置且位于输送机构的...

本实用新型涉及晶圆键合技术领域，提供了一种晶圆键合设备上下晶圆对位装置，用于实现第一晶圆和第二晶圆的对位键合，包括载台、压接轴以及多个对位机构；载台用于承载并吸附第一晶圆，压接轴用于吸附并带动第二晶圆朝载台运动，多个对位机构沿载台的周向...

本实用新型涉及直线运动机构技术领域，提供了一种直线运动导入机构，包括腔体、密封部件、运动部件以及驱动部件；密封部件包括焊接波纹管，焊接波纹管设置于腔体外部，焊接波纹管具有第一端和第二端，焊接波纹管的第一端与腔体相连，焊接波纹管的第二端沿...

本实用新型涉及真空观察窗技术领域，提供了一种快卸式真空观察窗，包括腔体壁、观察窗座、玻璃片、压环以及第一卡箍，观察窗座的一端与腔体壁连接，玻璃片设置于观察窗座远离腔体壁的一端，压环设置于玻璃片远离观察窗座的一侧，第一卡箍设置于观察窗座远...