一种碳化硅密封环，涉及新材料领域，其包括碳化硅主体以及弹性密封圈，弹性密封圈的数量为多个，多个弹性密封圈沿碳化硅主体的轴线方向间隔设置，每个弹性密封圈均包括凸出于碳化硅主体外表面的功能部，以及嵌设在碳化硅主体内的固定部；碳化硅主体具有隔...

本实用新型公开了一种轴用碳化硅轴套，包括外轴套，在外轴套内设置有内轴套，所述外轴套与内轴套设置间隙，并在该间隙上部设置有上轴承，在该间隙下部设置有下轴承，所述外轴套与内轴套的外环与外轴套内壁焊接连接，所述内轴套内侧壁上方设置有橡胶环。本...

一种碳化硅垫块，涉及新材料领域，包括固定部和抵接部，抵接部具有相对较大的第一侧面，以及相对较小的第二侧面，抵接部的第二侧面与固定部的一端链接；固定部设置有供螺钉穿过的通槽，通槽贯穿固定部的上下表面，通槽由远离抵接部的一端，向着抵接部折线...

本实用新型涉及清洁生产技术领域，公开了一种硅片压铸成型机，它包括压力机，轴本体转动安装在压力机的工作台下方，轴本体上有顶块和圆筒，齿轮位于顶块与圆筒之间，圆筒上有第一凸起和第二凸起，第二凸起的最高点高于第一凸起的最高点，压力机的工作台上...

本实用新型涉及清洁生产技术领域，公开了一种硅片压铸成型机的除尘机构，它包括工作台开设有滑槽的压力机，滑槽内安装有填料箱，滑槽的底部开设有第二通孔，第二通孔正对压力机的压头，第二通孔的内壁上一体成型有环形凸台，通过环形凸台将顶杆卡在第二通...

本实用新型涉及清洁生产技术领域，公开了一种硅片压铸成型机的动力轴，它包括轴本体，轴本体的中部安装有齿轮，轴本体的侧壁上沿其径向一体成型有顶块，轴本体上可拆卸安装有圆筒，齿轮位于顶块与圆筒之间，圆筒靠近齿轮的一端沿其边缘设置有第一凸起和第...

一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，涉及半导体加工技术领域，其包括支撑件、调节件、打磨件和驱动装置，支撑件包括转轴，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件的顶部与支撑件铰接，调节件套设于转轴之外。通过调整调节件的高度，利用调节件中圆台的上...

本实用新型公开了一种车床溜板箱的悬空导轨座，包括床身、安装在床身上的工作卡盘、安装在床身上的溜板箱和通过丝杠驱动溜板箱运动的进给箱，床身的工作平台上设置有悬空导轨座，溜板箱滑动安装在悬空导轨座上，且溜板箱的滑动方向与丝杠的轴向平行，悬空...

本实用新型公开了一种清洁型的真空烧结炉，包括炉体、抽真空管道、阀门、三相分离器和真空泵，抽真空管道的进气端与炉体的侧面连通，且抽真空管道的进气端靠近炉体的内底面，阀门的一端面与抽真空管道的出气端连通，阀门的另一端面与三相分离器的进气端连...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶片加工用自动上料装置，包括有机架、转动盘和固定盘；所述固定盘设置在机架上；所述固定盘上设置有与转动盘相适配的转动槽；所述转动盘转动设置在转动槽内；所述转动盘边缘设置有若干接料缺口；所述碳化硅片卡设在缺口内由...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶片生产用振动给料器,包括有振动器和漩涡盘；所述漩涡盘设置在振动器上方；所述漩涡盘内壁螺旋向上设置有给料轨道；所述给料轨道的出料端侧壁上断开有分料缺口；所述分料缺口处活动设置有用以筛选碳化硅晶片形态的调整拨片...

一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置，涉及半导体加工技术领域，其包括熔融罐和纯化罐，经过打磨工序之后，固定有工件的工件托盘被整体放入到熔融罐的内腔体内，石蜡在高温下融化，并经由内罐体上的通孔进入到外腔体，而工件和工件托盘则停留在内腔体内...

一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，涉及半导体加工技术领域，该防掉落装置包括防护筛板，防护筛板设置于水槽内，与水槽的槽壁连接。防护筛板位于基座下方，防护筛板在托盘所在平面的正投影将托盘完全覆盖，防护筛板设置有多个贯穿的筛孔。在进行打磨的...

一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置，涉及半导体加工技术领域，与传统的平面磨床用工件固定装置相比，该可调节固定装置包括托盘、基座和水槽。水槽设置有用于微调托盘位置的推动件和调节螺纹件。随着调节螺纹件的旋入可以改变托盘在水槽宽度方向上的...

一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，涉及半导体加工技术领域，与传统用于平面磨床的工件固定装置相比，该冷却固定装置具有中空的托盘，在打磨过程中，可以向托盘中注入冷却水，保持对石蜡的冷却，避免因石蜡融化而导致工件脱落的问题。进水管设置于基...

本实用新型公开了一种数控车床自动顶尖减震降噪尾座，包括有尾座体和顶尖部；所述尾座体内设置有贯通尾座体两端的行腔；所述行腔内往复设置有伸缩杆；所述顶尖部位于行腔前端且顶尖部通过伸缩杆连接至气缸；所述气缸位于行腔后端；所述的行腔前端设置有减...

一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台，半导体加工技术领域，其包括配套使用的托盘和基座，托盘采用中空结构，内部形成有储水室。托盘的底部设置有进水口和出水口，对应基座上的进水管和出水管。在使用时，进水管、出水管分别插入到进水口和出水口，不仅可...

本实用新型涉及清洁生产技术领域，公开了一种硅片压铸成型机的装料机构，它包括第一连杆、第二连杆以及两根第一弹簧，第一连杆与第二连杆铰接，轴本体安装有齿轮，轴本体一体成型有顶块，轴本体上安装有圆筒，圆筒边缘设置有第一凸起和第二凸起，第一连杆...

本实用新型涉及一种烧结炉温度控制系统，包括烧结炉以及位于烧结炉外的总控制器和位于烧结炉内的多个温度控制子系统，总控制器与若干温度控制子系统串联，若干个温度控制子系统之间并联，每个温度控制子系统包括温度传感器与子控制器，子控制器连接加热电...

本实用新型公开一种烧结炉的尾气处理设备，属于烧结炉设备技术领域，包括依次连接的烧结炉、水池、生物脱硫箱及生物脱氮机构，所述烧结炉通过第一管道与所述水池连通，所述水池通过第二管道与所述生物脱硫箱连通，所述生物脱硫箱通过第三管道与所述生物脱...