本发明公开了一种制备保偏光纤阵列的装置及其使用方法，包括夹具、泡棉、手动旋转台、显微镜Ⅰ和显微镜Ⅱ，夹具和手动旋转台相对设置，泡棉位于夹具和手动旋转台之间，在泡棉上设置有若干条缝隙；在夹具上安装有V槽基板，在V槽基板上设置有若干与缝隙相...

本发明公开了一种二氧化硅微透镜的制造方法，首先，确定透镜高度和光刻次数，并根据透镜高度H在每一等份高度处的水平线与微透镜表面特性函数两交点之间的距离，确定共轴圆柱堆叠结构中对应高度处的圆柱直径，然后确定每次刻蚀透镜的深度，然后采用二元光...

本发明公开了一种二氧化硅微透镜及其制造方法，包括基底层和透镜层，透镜层位于基底层的正面上，还包括增透层Ⅰ和增透层Ⅱ，所述增透层Ⅰ覆盖于透镜层的表面，增透层Ⅱ覆盖于基底层的背面；所述透镜层包括第一透镜层和第二透镜层，第二透镜层包裹在第一透...

本发明公开了一种级联紧凑型1×N非均匀光分路器，N为大于或等于3的自然数，包括输入通道和输出通道，所述输出通道为三分支，其中两个分支分别与Y分支级联形成2n路的输出通道，n为大于或等于1的自然数；最后一个分支与三分支级联。本发明采用非均...

本发明公开了一种高制作容差的平面波导型可调光衰减器，包括第一耦合器，第一耦合器的输入端与输入波导连接，第一耦合器的两个输出端分别与上臂支路和下臂支路的前端连接，第二耦合器的两个输入端分别与上臂支路和下臂支路的后端连接，第二耦合器的输出端...

本发明提出一种用于定位光纤阵列的梯形槽的制作方法，包括以下步骤：1）在晶圆上进行硬掩膜的生长；2）在硬掩膜上涂覆光刻胶；3）利用光刻工艺，将用于定位光纤阵列的梯形槽的图形转移到光刻胶上；4）利用等离子刻蚀技术，将梯形槽的图形进一步转移到...

一种实现阵列波导光栅边缘通道平坦化及损耗均匀性的方法，包括以下步骤：取一阵列波导光栅；以所取阵列波导光栅的中心输出波导为对称轴，调整输出罗兰圆的曲率半径，同时调整非中心输出波导与中心输出波导之间的夹角，以及非中心输出波导在输出罗兰圆上的...

本发明公开了一种温度不敏感阵列波导光栅，该阵列波导光栅包括：依次连接的输入波导区、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导区和输出波导区，所述阵列波导区中嵌入至少两种温度补偿介质以实现至少二阶温度补偿。通过本发明的上述技术方案，可以显著...