本实用新型提供了一种氮化硼坩埚打磨装置，包括：基座；旋转头，设于所述基座上，所述旋转头上设有夹紧机构；动力机构，设有基座上，所述动力机构用于驱动所述旋转头转动；坩埚固定工装，通过所述夹紧机构与旋转头同轴固定连接，并与所述旋转头一同旋转。...

本实用新型提供了一种氮化硼坩埚打磨头固定装置，包括导轨和支架，所述导轨上设置滑块，所述支架设于滑块上，所述支架上设有打磨棒，所述打磨棒的自由端安装有打磨头。本实用新型提供的氮化硼坩埚打磨头固定装置能够有效减少人工的工作量和失误，具有结构...

本发明提供了一种具有高平整度的氮化硼圆板的生产方法，采用化学气相沉积法制备所述氮化硼圆板，其特征在于，其中，氮气、三氯化硼和氨气以摩尔比为2‑5:1‑3:1‑3的比例通入反应器；进气方向与反应器的垂直中心线方向形成的夹角α的范围为3‑1...