合肥亚笙半导体设备科技有限公司专利技术

合肥亚笙半导体设备科技有限公司共有37项专利

  • 本实用新型涉及真空泵组装技术领域,具体为一种集成式真空泵架体。本包括框架本体、安装在框架本体上的若干泵组和配电柜,框架本体分为两层,泵组位于框架本体上面一层安装有两台,位于下面一层安装有四台,框架本体上安装有进气系统、排气系统和循环水系...
  • 本发明公开了一种工业废气双腔处理装置,包括药剂桶,药剂桶包括主药剂桶和副药剂桶,主药剂桶和副药剂桶外表面靠近其底部的同侧位置均设置有进气口,主药剂桶和副药剂桶顶部均连接有出气管,主药剂桶的进气口连通有主进气管,副药剂桶的进气口通过气动阀...
  • 本发明涉及气体处理设备技术领域,具体为一种气体净化设备。包括洗涤室,洗涤室中部位置通过隔离板分割为位于左侧位置的第一洗涤室和位于右侧位置的第二洗涤室,隔离板上安装有用于连通第二洗涤室和第一洗涤室的溢流管,第一洗涤室内腔和第二洗涤室内腔位...
  • 本发明涉及废气处理技术领域,具体为一种废气水洗装置。包括外壳、第一泵、第二泵和控制器,外壳左侧上部位置设置有进气口,外壳右侧上部位置设置有出气口,外壳内腔从左到右依次安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板,第一隔板和第三隔板顶部一端与外壳固...
  • 本发明涉及废气处理技术领域,具体为一种废气处理设备。包括柜体和柜门、柜体左侧上部位置设置有废气进气口和废气进气口背部一侧的废气出气口,柜体上部位置还设置有机柜排气口和电源进线盒,首先将废气在进入药剂罐(第一药剂罐、第二药剂罐)之前进行加...
  • 本实用新型涉及真空管路技术领域,具体为一种具有粉尘收集功能的真空管路系统。包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备,第一管路为纵向设置,第一管路上还安装有三通阀,三通阀底部出气端安装有集尘杯,三通阀右侧出气端通过导管安装在泵进...
  • 本实用新型公开了一种真空管道混流陷粉装置,包括装置本体,装置本体内表面靠近其左侧的位置设置有进气通道,装置本体内部中部还设置有出气管,出气管的内表面与装置本体内表面靠近其右侧的位置的出气通道连通,出气通道的外表面设置有与进气通道连通的双...
  • 本实用新型公开了一种工业废气双腔处理装置,包括药剂桶,药剂桶包括主药剂桶和副药剂桶,主药剂桶和副药剂桶外表面靠近其底部的同侧位置均设置有进气口,主药剂桶和副药剂桶顶部均连接有出气管,主药剂桶的进气口连通有主进气管,副药剂桶的进气口通过气...
  • 本实用新型涉及废气处理技术领域,具体为一种废气处理设备。包括柜体和柜门、柜体左侧上部位置设置有废气进气口和废气进气口背部一侧的废气出气口,柜体上部位置还设置有机柜排气口和电源进线盒,首先将废气在进入药剂罐(第一药剂罐、第二药剂罐)之前进...
  • 本实用新型涉及气体处理设备技术领域,具体为一种气体净化设备。包括洗涤室,洗涤室中部位置通过隔离板分割为位于左侧位置的第一洗涤室和位于右侧位置的第二洗涤室,隔离板上安装有用于连通第二洗涤室和第一洗涤室的溢流管,第一洗涤室内腔和第二洗涤室内...
  • 本实用新型涉及废气处理技术领域,具体为一种废气水洗装置。包括外壳、第一泵、第二泵和控制器,外壳左侧上部位置设置有进气口,外壳右侧上部位置设置有出气口,外壳内腔从左到右依次安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板,第一隔板和第三隔板顶部一端与外...
  • 本实用新型涉及真空管路系统技术领域,具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备,第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的...
  • 本实用新型涉及真空管路技术领域,具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备,第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组,真空阀组通过导线与主泵电性连接,真空阀组还通过导线连接有报警器。...
  • 本发明公开了一种工业废气除尘装置,包括处理罐,处理罐底部设置有进气口,其顶部设置有出气口,处理罐内表面靠近其底部的位置被隔板自下而上依次分为缓存区和处理区,隔板顶部位于处理区的位置设置有多个收集管道,收集管道内表面与缓存区连通,处理罐内...
  • 本实用新型涉及真空管路技术领域,具体为一种具有热氮气加热吹扫管路的真空管路系统。包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备,第一管路上和第二管路上均分别安装有气体加热装置,气体加热装置进气端通入氮气。在原有真空系统中改造加装氮气...
  • 本实用新型公开了一种真空管路废气吸附装置,包括装置本体,装置本体外侧靠近其底部的位置设置有与之内表面连通的进气接头,装置本体的顶部中间位置设置有与之内表面连通的出气接头,装置本体内表面底部设置有多个同心且截面为未封闭式的圆环吸附筛网筒,...
  • 本实用新型公开了一种真空管道废气冷凝捕捉装置,包括装置本体,装置本体左侧靠近其底部的位置设置有进气接头,装置本体顶部设置有出气接头,装置本体内表面底部中部位置设置有冷循环液体柱,冷循环液体柱的外表面设置有多层扇形导流板,扇形导流板内开设...
  • 本实用新型涉及加热带技术领域,具体为一种工业管道用高效率的加热带,一种工业管道用高效率的加热带,包括外包覆层、加热丝和工业管,外包覆层位于加热丝一侧粘合有导热层,外包覆层与导热层之间位置等角度设置有三个支撑块,加热丝位于工业管外部位置等...
  • 本实用新型公开了一种工业管道加热带压紧型结构,加热带包覆管道时通过设置于加热带表面的魔法贴进行固定,加热带包括外包覆层布,所述软质弹簧固定座两侧对称位置均设置有复数个拉紧挂钩弹簧,所述外包覆层布内表面位于拉紧挂钩弹簧远离软质弹簧固定座一...
  • 本实用新型公开了一种工业管道加热外包裹布裁剪设备,包括夹紧限位滑座和剪刀,所述布料压紧口内表面左侧通过螺纹丝杆活动连接有布料压紧板,且螺纹丝杆外表面与夹紧限位滑座螺纹连接,所述夹紧限位滑座左侧位于布料压紧口上方的位置开设有导轨槽,所述导...