本实用新型涉及一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装置，与现有技术相比解决了吸盘定位销钉更换困难、定位衬底尺寸兼容性差的缺陷。本实用新型的滑槽A上安装有定位块组件A，滑槽B上均安装有定位块组件B，定位块组件A与定位块组件B两者结构...

本实用新型涉及一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，与现有技术相比解决了高、低倍物镜切换不便的缺陷。本实用新型的高倍物镜系统安装在工作台上且位于左反射镜A和左反射镜B之间，右双面反射镜设有右反射镜A和右反射镜B，低倍物镜系统安装在工...

本实用新型涉及一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，与现有技术相比解决了光学镜筒工作时易产生高温形变的缺陷。本实用新型中上过水管的前端设有进水口，上过水管的尾端设有挡块A，下过水管的前端设有出水口，下过水管的尾端设有挡块B，冷凝块为中空...

本发明涉及一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法，与现有技术相比解决了三角形填充速度慢的缺陷。本发明包括以下步骤：三角形预处理，对三角形进行线段拆分分组；计算相同Y值下的X点的坐标值，针对线段集合Z中的线段分组进行并行处理，均计算...