本技术公开了一种自动化掩模检测系统，包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；导轨、机械手和检测装置均位于运动平台；机械手包括手叉和支撑底座；导轨包括沿第一方向延伸的第一导轨和沿第二方向延伸的第二导轨；第二导轨位于第一导轨上，且第二导轨能...

本发明公开了一种缺陷检测装置及方法，装置包括：光源组件，成像组件，其包括：n级分光元件和m个图像采集器；每个分光元件用于对反射光束或散射光束进行分光形成两束分光光束；并且当1≤i<n时，第i级分光元件形成的其中一束分光光束的传输光...

本发明属于隔振装置技术领域，公开减振平台、带减振平台的工件台及减振平台控制方法，减振平台包括下底板、上顶板、多个气浮轴承、传感器组件和多个音圈电机；上顶板支撑负载；气浮轴承设于下底板和上顶板之间，浮动支撑上顶板；传感器组件设于下底板和上...

本发明属于半导体技术领域，公开运动平台及量检测设备，运动平台包括平台组件、旋转驱动组件和升降驱动组件；平台组件包括支撑框和载物平台，载物平台可转动地连接于支撑框，载物平台承载检测物；旋转驱动组件包括旋转电机，旋转电机的动子端连接于载物平...

本发明属于半导体设备技术领域，公开了硅片承载装置。该硅片承载装置包括承载机构、旋转机构和电滑环，承载机构设有若干个用以吸附硅片的吸附件；承载机构设于旋转机构上，能在旋转机构带动下在平面内转动，旋转机构中设有控制件和若干根通气管路，若干根...

本发明公开了一种缺陷检测装置和方法。缺陷检测装置包括：载物平面、离轴照明模块、成像模块和分析处理模块。所述载物平面用于承载待测物。所述离轴照明模块用于产生并发出离轴照明光束。所述成像模块用于根据所述离轴照明光束经所述待测物的待检测面反射...

本发明公开了一种传感器位置校准方法、装置、设备及介质。传感器位置校准方法，包括：在当前图案阵列移动到传感器视场后，对传感器焦面进行校准；在传感器焦面校准后，获取传感器捕获的图案阵列局部图，并确定与图案阵列局部图匹配的目标特征图形；确定目...

本发明公开了一种直线电机的初始相位角确定方法、装置和电子设备。所述初始相位角确定方法包括：向动子的两相线圈分别通入第一电流和第二电流，其中，所述第一电流和所述第二电流均为直流。待所述动子相对于定子不再运动后，获取所述动子的实时位移数据。...

本发明公开了一种数据传输系统、方法、设备以及介质。数据传输系统，包括第一运动控制板以及第二运动控制板；其中，第一运动控制板包括第一可编程逻辑阵列以及第一数字信号处理模块；第一可编程逻辑阵列，用于接收第二运动控制板发送的目标待写入数据包，...

本发明公开了一种套刻测量方法。该方法包括：获取第一层图形以及与第一层图形相邻的第一层中间层图形形成的第一图像；依次获取第i+1层中间层图形以及与第i+1层中间层图形相邻的第i+2层中间层图形形成的第i+2图像；获取第i+2层中间层图形以...

本发明实施例公开了一种三维套刻标记和套刻误差测量设备测校方法。三维套刻标记包括基板以及位于基板上的多个套刻标记；多个套刻标记中，任意两个套刻标记在第一平面上的垂直投影的高度不同；第一平面垂直于基板所在平面。由于套刻标记在第一平面延伸方向...

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种晶圆固定装置及检测设备。晶圆固定装置包括承载件、压紧件和连接件。承载件具有用于承载晶圆的承载面；压紧件位于承载件设置承载面的一侧，压紧件呈环形，压紧件的内径小于晶圆的直径，压紧件的外径大于晶圆的直...

本发明公开了一种调焦调平装置与方法，装置包括：位移台，用于承载待测目标物；光学成像系统，位于待测目标物远离位移台的一侧；垂向位移传感器，用于测量待测目标物的面型；驱动机构，使位移台随横向轴和/或纵向轴移动；垂向轴以使光学成像系统随垂向轴...

本发明实施例公开了一种掩模版缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质。其中该方法包括：确定待测掩模版的初检图像与所述初检图像的初检缺陷；确定待测掩模版的复检图像；其中，所述初检图像与所述复检图像通过采用不同照明条件和镜头进行图像拍摄得到，...

本发明公开了一种晶圆检测中的动态对焦方法、装置、设备和介质，其中，对焦方法通过先获取第一待检测晶圆的原始面型，接着通过动态选取不同的预设路径和拟合算法来获取第一待检测晶圆的拟合面型，当第一待检测晶圆的拟合面型和原始面型之间的残差小于或等...

本发明涉及检测装置技术领域，公开了一种检测装置。检测装置包括基座、减振机构、垂向机构和制动机构。基座设有载台；减振机构设置于基座底部；垂向机构连接于基座并位于载台的正上方，垂向机构包括驱动件、导轨和连接件，连接件与竖直设置的导轨滑动连接...

本发明实施例公开了一种图像自动匹配标记方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：获取待标记图像，并将所述待标记图像进行等间距划分得到至少两个第一网格；从所述第一网格中选取满足预设条件的网格得到第二网格；其中，所述满足预设条件包括第一网...

本发明实施例公开了一种图像边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：获取局部图像目标矩阵，并将所述局部图像目标矩阵中心像素点作为局部图像阈值进行保存；将所述局部图像目标矩阵与卷积模板进行卷积运算确定各方向梯度幅值，并依据各方向...

本发明涉及气浮转台技术领域，具体公开了一种精密气浮转台，该精密气浮转台包括安装座、驱动组件、气浮轴承转子和气浮轴承定子。其中，驱动组件螺接于安装座，气浮轴承转子连接于驱动组件的输出端；气浮轴承转子的端部设有转接盘，转接盘和气浮轴承转子围...

本发明公开了一种硅片背检设备和背检方法，该设备中螺旋导轨座上设置有自中心向边缘螺旋排布的第一凹槽，连杆的一端通过旋转轴连接在螺旋导轨座的中心，连杆的另一端绕螺旋导轨座的中心做圆周运动，滑块套设于在连杆上，滑块邻近第一凹槽的一侧设置有第一...