本发明提供一种碳化硅涂层喷涂装置，涉及喷涂设备技术领域，包括主传送架，所述主传送架顶部固定有侧电动滑轨，侧电动滑轨上方设有首固定架体，主传送架上方设置有喷涂喷枪，喷涂喷枪和中滑轨架水平滑动连接，首固定架体一侧水平滑动连接有第一引导板，第...

本发明涉及表面处理的技术领域，特别是涉及一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其结构简单，可自动打开真空腔体，并且可自动移动待镀膜材料的小车，减轻操作者的劳动强度；包括：镀膜箱、箱门、驱动箱门动作的驱动机构、滑动在镀膜箱内的夹持器以及驱动夹持...

本发明提供一种基于石墨烯的晶体传感器，涉及传感器技术领域，包括轨板、活动座、安装件和壳体；所述轨板上固定有齿形板；所述活动座上固定有垫板，垫板上安装有轴接座，轴接座上轴接有滚轮，滚轮滚动在滑轨上；所述安装件安装在底板的下端；所述壳体安装...

本发明提供一种石墨载盘涂层加工用烘烤装置，涉及石墨载盘技术领域，包括底架；所述底架的上端安装有箱体，所述箱体内部安装有烘烤件，烘烤件包括一号座、二号座和滑动座，一号座和二号座上端通过螺钉安装有角码，角码通过螺钉安装在箱体的内壁上，一号座...

本发明提供一种石墨载盘涂层加工用表面抛光装置，涉及石墨载盘抛光技术领域，加工台的底端面上呈直线阵列固定连接有两处用于支撑的支撑架，且加工台的右侧固定连接有排放管。解决现有的抛光装置由于缺乏有效的施加压力检测结构，使得载盘在进行抛光时很容...

本实用新型公开了一种制备碳化硅涂层用原料气化混合装置，包括混合箱，所述混合箱的内腔固定连接有隔板，所述混合箱内腔的顶部并位于隔板的左侧通过轴承转动连接有转管，所述转管的底部连通有散料盒，所述转管的顶部贯穿混合箱且连通有储料筒，所述混合箱...

本发明涉及碳化硅涂层石墨载盘加工技术领域，且公开了一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，包括箱体和箱盖，所述箱体内设有一组摆动机构，一组所述摆动机构的数量不少于两个，所述摆动机构上设有夹紧件，多个所述夹紧件高度从左往右逐渐升...

本实用新型公开了一种用于碳化硅外延生长的石墨基座，包括石墨基座本体，所述石墨基座本体的内腔开设有凹槽，所述凹槽内腔的底部开设有若干排气孔。本实用新型通过设置石墨基座本体、凹槽、排气孔、螺纹套、螺纹杆和弧形夹板，共同构建了一个用于碳化硅外...

本实用新型公开了一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，包括反应罐，所述反应罐底部的中心处固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的左右两侧自上而下均匀固定连接有承载...

本实用新型公开了一种碳化硅陶瓷材料的原料除杂装置，包括除杂箱，所述除杂箱内腔的两侧均滑动连接有过滤箱，所述过滤箱的顶部固定连接有电机，电机的输出轴贯穿过滤箱并固定连接有传动杆，传动杆的两侧均固定连接有搅拌杆，过滤箱内腔两侧的底部均滑动连...

本发明公开了一种碳化硅涂层石墨载盘支撑装置，涉及气相沉积设备技术领域

本发明涉及涂层制备技术领域，公开了一种碳化硅涂层石墨载盘制备用烘干装置，包括箱体

本发明涉及陶瓷材料制备技术领域，具体涉及一种高性能的碳化硅陶瓷材料低温烧结方法，包括以下步骤；准备材料：选择适当的碳化硅粉末，选取粒径范围为

本发明涉及碳化硅涂层技术领域，具体涉及一种高温稳定相碳化物陶瓷增强的碳化硅涂层及其制备方法，包括稳定相碳化物陶瓷颗粒和碳化硅粉末混合而成的糊状物，其中，所述稳定相碳化物陶瓷颗粒均匀地分布在糊状物中，并具有一定的体积比，使得涂层在高温环境...

本发明涉及碳化硅的外延生长技术领域，具体涉及一种碳化硅外延生长用石墨部件及其复合涂层制备工艺，包括以下步骤：首先，将石墨部件按照质量比例5％

本实用新型属于碳化硅涂层加工处理技术领域，尤其为一种提高碳化硅涂层与基体表面致密性的复合装置，包括装置主体，所述装置主体的侧面设置有电机，所述电机的一侧连接有支撑架，所述装置主体的下端设置有进气口，所述进气口的内部设置有叶片，所述叶片的...

本发明公开了一种用于碳化硅外延生长设备载盘的涂层制备方法，特别是涉及一种用于碳化硅外延生长设备载盘的涂层制备方法，称取一定数量的碳化硅粉末、氧化铝、氧化锆、有机树脂和阻燃剂，并加入通过RO膜过滤的去离子纯水，再启动搅拌机，使搅拌机将原料...

本发明公开了一种基于CVR和CVD的石墨表面碳化硅涂层的制备方法，涉及石墨表面碳化硅涂层技术领域；而本发明包括以下步骤：S1：将氯铂酸粉末和无水乙醇倒入到搅拌装置内部，将氯铂酸粉末溶解在无水乙醇中，制备催化剂溶液；S2：将固体硅料溶液和...

本发明公开了一种耐热震碳化硅涂层的制备工艺，包括按照重量份数计的硅粉20～30份、碳粉25～40份、粉末碳化硅20～30份、环氧基硅烷20～30份、莫来石纤维粉5～15份、水60～80份、减水剂1～3份，矾土基均质料45～60份；所述的...

本实用新型属于螺纹孔封堵技术领域，尤其为一种新型碳化硅涂层的螺纹孔填堵治具，包括待涂工件，待涂工件一侧设置有封堵装置，封堵装置内部设置有双向螺纹杆，双向螺纹杆上设置有滑动板，滑动板内部设置有螺纹通孔，滑动板一端固定安装有滑块，封堵装置内...