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韩商·AMST有限公司专利技术
韩商·AMST有限公司共有1项专利
探针卡制造技术
本发明提供一种探针卡,该探针卡具有空间变换器,所述空间变换器可有效地变化以对应于晶圆芯片结构的变化,且能够使空间变换器的可接受通道最大化。用于测试晶圆上的半导体芯片的探针卡包括:空间变换器本体,其中多个单元探针模块间隔配置;主电路板,电...
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