本申请公开了一种基于氧化镓剥离装置的三步剥离方法，其属于氧化镓晶圆处理技术领域。包括：所述控制单元控制所述移动单元将晶圆移动至所述预切割单元，所述控制单元启动所述预切割单元对晶圆环切；所述控制单元再控制所述移动单元将晶圆移动至所述激光加...

本申请公开了一种氧化镓的激光切割方法，其属于氧化镓激光加工领域。切割方法包括：将待切割工件置于300‑500℃的环境中进行预热处理；在待切割工件的外表面覆盖一层能够对待切割工件进行绝热处理的绝热层；对经过绝热处理的待切割工件进行激光切割...

本技术公开了一种玻璃微孔的制备装置，包括液体容器、激光扫描系统和超声波发生装置；液体容器盛装有腐蚀液；激光扫描系统用于对浸没在所述液体容器中的玻璃进行激光照射；超声波发生装置用于对液体容器中的腐蚀液进行超声振荡。本技术对浸没在酸或碱溶液...

本申请公开了一种金刚石材料的表面抛光装置及方法，其属于金刚石材料的加工技术领域。包括：固定结构，用于固定金刚石；机械抛光结构，形成抛光面，所述抛光面朝向所述固定结构；清洗结构，形成清洗液喷口，所述清洗液喷口朝向所述固定结构；激光发射结构...

本技术公开了一种高效的玻璃微孔制备装置，包括激光器、控制台、衍射光学元件、光路控制系统和运动控制系统；所述激光器，用于输出激光光束，其输出脉宽介于10飞秒‑500飞秒之间的脉冲激光光束，其输出功率大于50瓦；所述控制台用于承载待加工样品...

本发明公开了一种单晶氧化镓的激光水下激光切割方法，包括：S1，根据待加工氧化镓晶片的三维模型，控制单元对三维模型进行切片获得多个切片层，对于每个切片层，设定激光加工单元相应的扫描路径、加工工艺参数；S2，控制单元对液体处理单元设定流速；...

本申请公开了一种氧化镓的双激光切割方法，其属于激光切割领域。包括：使用能够形成平均输出功率大于30W、波长为1020nm‑1090nm和脉冲宽度小于10ns第一激光光路的第一激光器对待切割工件进行激光切割；使用能够形成波长为310nm‑...

本发明公开了一种激光辅助湿法刻蚀加工金刚石微孔装置及方法，包括加工平台、液体容器、激光扫描系统、超声波发生装置和辅助加热装置；加工平台用于固定金刚石薄片，液体容器设置于加工平台上；液体容器盛装有腐蚀液，相变后的金刚石薄片浸没在液体容器的...

本申请公开了一种金刚石材料的处理装置，其属于金刚石抛光领域。包括：激光切割件，至少用于形成能够对待处理金刚石材料进行加工的单模高光束质量的皮秒激光光束；视觉检测件，用于获取待处理金刚石材料的高粗糙度区域；驱动件，用于直接或间接的使单模高...

本申请公开了一种振镜同轴扫描三维轮廓识别与激光加工金刚石成形装置及方法，其属于金刚石加工技术领域。包括：振镜系统，集成主频分束器，振镜系统形成激光加工光路，激光加工光路经过主频分束器；第一凸透镜，朝向主频分束器；针孔板，形成与第一凸透镜...

本技术公开了一种玻璃的激光切割装置，包括激光装置和激光加工头，激光装置由激光种子源、放大器、泵浦激光器构成，其特征在于：设有分束装置，分束装置具有第一二色镜、第一反射镜、偏移装置、第二反射镜和第二二色镜，激光装置的出射激光束由第一二色镜...

本申请公开了一种玻璃通孔的复合激光制备方法，其属于光学器件领域。包括：在待加工玻璃上以波长介于920‑1160nm之间的脉冲激光照射的方式形成的第一光斑；在待加工玻璃上以高功率连续激光照射的方式形成的第二光斑；将待加工玻璃置于强酸环境中...

本发明公开了一种高速脉冲串激光的产生装置，包括激光种子源、脉冲分束器、激光放大器和光合束器；激光种子源用于产生脉冲光信号；脉冲分束器用于接收激光种子源产生的脉冲光信号，以将脉冲光信号按照一定比例分配功率，并能够控制脉冲光信号的时间延迟；...

本发明公开了一种高效的玻璃微孔制备装置及方法，包括激光器、控制台、衍射光学元件、光路控制系统和运动控制系统；所述激光器，用于输出激光光束，其输出脉宽介于10飞秒‑500飞秒之间的脉冲激光光束，其输出功率大于50瓦；所述控制台用于承载待加...

本申请公开了一种培育金刚石表面激光抛光装置，其属于激光抛光领域。激光器，用于输出光束，使光束以射线的形式传播形成激光光路；聚焦光学元件，用于对光束进行聚焦形成一个激光线；光学扫描机构，用于控制光束的空间扫描位置和轨迹，以使激光线沿预设轨...

本发明公开了一种玻璃微孔的制备装置及方法，包括液体容器、激光扫描系统和超声波发生装置；液体容器盛装有腐蚀液；激光扫描系统用于对浸没在所述液体容器中的玻璃进行激光照射；超声波发生装置用于对液体容器中的腐蚀液进行超声振荡。本发明对浸没在酸或...

本申请公开了一种平顶光斑的高功率皮秒光纤激光产生装置及方法，其属于激光器领域。包括：激光发射件，用于形成多股功率近似相等的分束激光光路；合束件，用于将多股所述分束激光光路合并为一股输能量分布均匀的合束激光光路，且所述合束激光光路可在待切...

本技术公开了一种玻璃切割装置，包括激光装置和激光加工头，所述激光装置由激光种子源、放大器、泵浦激光器构成，其特征在于：设有分束合束装置，所述分束合束装置具有第一二色镜、第一反射镜、扩束系统、第二反射镜和第二二色镜，所述激光装置的出射激光...

本技术公开了一种大尺寸培育金刚石材料的激光切割装置，属于激光切割领域，包括激光器；聚焦光学元件，用于对光束进行聚焦形成一个激光光斑；光学扫描装置，用于使激光光斑沿切割轨迹移动；移动载体，用于使待切割金刚石材料沿预设轨迹运动；激光光斑沿切...

本发明公开了一种大尺寸培育金刚石材料的激光切割方法和装置，属于激光切割领域，包括，激光器；扩束镜，用于扩大光束的直径；聚焦光学元件，用于对光束进行聚焦形成一个激光光斑；光学扫描装置，用于使激光光斑沿预设轨迹移动；移动载体；光学扫描装置控...