本技术提供一种载架及加工装置，涉及半导体加工技术领域。该载架包括载梁和两个支架，支架设有Z向驱动件，Z向驱动件连接有连接座，连接座通过转动轴转动连接有转动座，转动轴沿Y向延伸；载梁沿X向延伸并连接于两个转动座之间，且载梁X向的至少一端作...

本技术提供了一种双龙门运动平台，涉及运动设备技术领域，以解决现有双龙门运动平台的防撞结构会增加固定平台宽度的问题。其包括固定平台、第一龙门架、第二龙门架和防撞组件；防撞组件处于第一龙门架和第二龙门架的架内空间；防撞组件包括安装于第一龙门...

本技术提供一种焊接装置，涉及焊接技术领域。该焊接装置包括基台、夹具、第一驱动组件和第二驱动组件，其中，夹具包括限位机构和设有顶升孔的载板，限位机构包括设于载板底部的顶升组件和设于顶升组件顶升端的托板，托板与顶升孔相匹配且用于承载待焊接件...

本实用新型提供了一种流体压力波动抑制装置及光刻设备，涉及半导体加工领域，为解决现有光刻设备存在因水流不稳定而影响工作精度的问题而设计。该流体压力波动抑制装置包括减压元件和增压稳压模块，减压元件用于连接在水冷机的出口端与光刻设备的承片台之...

本实用新型涉及硅片加工工艺技术领域，尤其涉及一种托运举升组件。该托运举升组件包括底板、托运气垫和空气弹簧，底板用于安装于相应工位，托运气垫固定安装于底板，用于支撑工件台；空气弹簧固定安装于底板，空气弹簧与托运气垫位于底板的同侧。本托运举...