本技术提供一种设有抽真空装置的离子注入机。所述设有抽真空装置的离子注入机包括：离子注入机主体和设置在离子注入机主体上的抽真空机构，所述抽真空机构包括有底板、真空泵、放气管、连接套管、抽气管、伸缩软管和两个限位固定组件，所述底板设置在离子...

本技术涉及晶圆状态检测装置技术领域，公开了一种扩散炉传送手臂上晶圆状态检测的装置。本技术包括：履带传动机，所述履带传动机的一侧固定连接有传送手臂，所述传送手臂上固定安装有晶圆检测器，所述履带传动机的传送带上固定连接有设备框体，所述设备框...

本技术涉及半导体湿法刻蚀设备技术领域，公开了一种设有刻蚀槽装置的湿法刻蚀设备。本技术包括：刻蚀机本体，所述刻蚀机本体上设有槽体，所述槽体的一侧固定安装有风机和分叉管，所述风机的进风口与分叉管的主管固定连接，所述分叉管的两个支管均与槽体相...

本发明提供一种分散式扩散炉进气装置及含有此进气装置的扩散炉。所述的分散式扩散炉进气装置包括：冗余罐以及分隔机构，所述冗余罐上固定连接有环形管，所述分隔机构包括液压推杆以及中空隔板，所述中空隔板内滑动安装有滑动隔板，所述液压推杆的输出杆延...

本技术提供一种设有刻蚀辅助装置的晶圆刻蚀设备。所述设有刻蚀辅助装置的晶圆刻蚀设备包括：箱体,所述箱体一侧的表面铰接有门体，所述门体上设置有观察窗，所述箱体的顶部连接有进气管，所述箱体滑动连接有放置板，所述放置板的顶部开设有多个放置槽，多...

本技术提供一种设有硅片上料装置的大束流离子注入机。所述设有硅片上料装置的大束流离子注入机包括：离子注入机本体，所述离子注入机本体上设置有安装架、移动机构和两个上料机构；所述安装架包括两个L形安装板、横板、两个竖撑、两个横撑和四个斜撑，两...

本发明涉及离子注入机金属污染改善技术领域，公开了一种用于改善离子注入机金属污染的装置。本发明包括：机箱，所述机箱内设有围框，所述机箱内升降安装有盖板，所述盖板的底部安装有可翻转的源腔固定机构，所述盖板的底部安装有移动升降机构，所述移动升...

本发明涉及离子注入机源腔防护技术领域，公开了一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置。本发明包括：外箱，所述外箱内安装有隔仓，所述隔仓内滑动安装有滑架，所述外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，所述外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩...

本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，属于高能注入机技术领域。该一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件、降温组件和恒温组件，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，温度下降后的超纯水从输送水管出口落...

本实用新型提供了一种刻蚀机的自动门，属于刻蚀机技术领域。该刻蚀机自动门包括刻蚀机本体、开合装置和自动门，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述液压缸转动连接于所述刻蚀机本体上侧，所述液压缸活塞杆顶端转动连接于所述连接杆上端，所述自动门包括...

本专利申请涉及刻蚀加工技术领域，公开了一种电路板刻蚀机的输送装置，包括安装座，安装座上转动安装有若干输送辊，安装座上设置有用于驱动输送辊转动的驱动组件，输送辊包括若干个沿轴线方向依次连接的输送段，每一输送段的两端分别同轴固定连接有用于放...

本实用新型提供了一种半导体生产翻转装置，属于半导体技术领域，该半导体生产翻转装置包括支撑台、水平翻转组件和竖直翻转组件。所述水平翻转组件包括旋转台、驱动电机、第一液压缸、托台和真空吸盘，所述竖直翻转组件包括滑动导杆、滑动座、第二液压缸、...

本实用新型提供了一种半导体生产点锡装置，属于点锡技术领域，该半导体生产点锡装置包括支撑台、角度组件和点锡组件。角度组件包括旋转轴、旋转座、角度盘和第一液压缸，点锡组件包括升降架、升降导轨、升降座、第二液压缸、焊机、焊架、第三液压缸和焊条...

本实用新型提供了一种刻蚀机过滤系统，属于刻蚀机过滤技术领域。该一种刻蚀机过滤系统包括桶体组件、过滤组件和烘干组件，所述烘干组件包括机壳、电热管、第二过滤板和积液盒，使用时，当需要清理第一过滤板时，打开气缸，气缸推动刮板向前运动，刮板滑动...

本实用新型提供了一种扩散炉炉门密封装置，属于扩散炉技术领域。该扩散炉炉门密封装置包括框架、开合装置和炉门，所述框架包括第一框体和第二框体，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述炉门包括外门板、内门板、密封圈、转盘、弹性杆、撑紧块、定位环和...

本实用新型涉及承载架领域，公开了一种扩散炉进气管防脱承载架，其技术方案要点是包括两个支架，支架上滑动连接有滑板，支架上设置有动力部，动力部用以带动同侧的滑板上下滑动，每个滑板顶面均开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑块，滑块上固定连接有支...

本实用新型提供了一种高能注入机射频加速装置，属于电子元件技术技术领域。该高能注入机射频加速装置包括加速器本体和连接组件。所述连接组件包括箱体、锁紧件、电容器芯包和风扇，所述锁紧件包括滑杆、弹簧和卡板，所述滑杆滑动贯穿所述箱体，所述卡板固...

本专利申请涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机托盘结构，包括托盘，托盘上开设有若干用于放置硅片的圆形的凹槽，托盘上方设置有盖板，托盘与盖板可拆卸连接，盖板的边缘形成有环形的定位部，定位部的内侧壁与托盘的外侧壁相接触，托盘上固定连接有定位...

本实用新型提供了一种半导体生产夹取装置，属于半导体夹取技术领域。该半导体生产夹取装置包括输送机和夹取吸附机构。所述夹取吸附机构包括支架箱、电缸、滑动箱、电动推杆、夹板、抽气泵、软管和吸盘，所述支架箱固定连接于所述输送机顶面两侧，所述电缸...

本实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手，属于石英舟技术领域。该扩散炉的石英舟抓手包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆，所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴，所述风机固定连...