本实用新型属于废气处理设备技术领域，提供了一种超大处理量的等离子体尾气处理设备，包括反应腔，反应腔用于对废气进行燃烧处理，反应腔的顶部连接有等离子发射器，等离子发射器可快速运行产生高温火焰对置于反应腔内部的废气燃烧处理，反应腔底端连接有...

本实用新型属于尾气处理技术领域，提供了一种水洗式电加热尾气处理设备，包括：反应腔体、冷却腔、水箱、进气腔；所述水箱的顶部两侧分别连通有反应腔体和冷却腔体，所述反应腔体的顶端连接有多个均匀分布的进气腔,反应腔体的外侧是有一圈电加热罩，进气...

本发明属于废气处理设备技术领域，提供了一种超大处理量的等离子体尾气处理设备，包括反应腔，反应腔用于对废气进行燃烧处理，反应腔的顶部连接有等离子发射器，等离子发射器可快速运行产生高温火焰对置于反应腔内部的废气燃烧处理，反应腔底端连接有冷却...

本实用新型提供一种发射等离子火焰的电浆喷头，包括电浆喷头阳极和电浆喷头阴极，所述电浆喷头阳极中间设有火焰通道，电浆喷头阳极和电浆喷头阴极之间为引弧部分，所述电浆喷头的内部在所述引弧部分的外周设有密闭的氮气通道，所述电浆喷头上设有两个氮气...

本实用新型提供一种用于等离子尾气处理设备的高效自动排水水箱，包括连接槽、过滤钣金、水箱本体以及换热器。过滤钣金安装在连接槽内，将连接槽分隔成两部分。连接槽安装在水箱上端，并在连接槽上端设有两个管道接口，废气经一个管道接口进入，再由另一个...

本实用新型提供一种废气处理的水氧分离排废系统，包括水氧颗粒分离腔室、过滤网、冲淋腔室和改制盲板；所述的过滤网安装在水氧颗粒分离腔室上，所述的改制盲板安装在冲淋腔室上，冲淋腔室安装在水氧颗粒分离腔室下方，冲淋腔室下方有一个进气口，水氧颗粒...

本实用新型提供一种高质量的等离子反应腔室，包括燃烧筒、电浆头法兰、水幕法兰以及等离子火焰发生器，所述等离子火焰发生器固定安装在所述电浆头法兰的顶端，所述水幕法兰固定安装在所述电浆头法兰的底端，所述水幕法兰固定安装在所述燃烧筒的顶端，所述...

一种新型的特气喷淋管道，属于板式PECVD设备技术领域。包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管，喷气管与第一气管、第二气管连通，第一气管、第二气管通过三通接头与总气管连通，喷气管上设置一组喷淋孔，其特征在于喷气管两侧各增设至少一个左...

本发明涉及了一种水洗式等离子体尾气处理设备，包括电浆头、进气腔、CDA供气盘、冷却腔、水幕腔、水箱、初级水洗过滤腔、次级水洗过滤腔和排气管；电浆头安装在进气腔正上方，进气管道均匀安装在进气腔四周，进气腔、CDA供气盘、冷却腔和水幕腔依次...

一种用于TopCon电池的板式PECVD的高速升降平台装置，属于制作太阳能电池技术领域。包括支架、升降平台，支架内垂直设置丝杆，丝杆顶端设置与其传动配合的伺服电机，丝杆上设置与其螺旋转动配合的连接装置，升降平台固定安装在连接装置上。上述...

本发明涉及了一种超长等离子火焰发射器，包括底座，发射器阳极，水气隔离件，绝缘陶瓷以及发射器阴极；发射器阳极安装在底座上，水气隔离件通过密封圈与发射器阳极相连，发射器阴极通过绝缘陶瓷隔开，防止阳极和阴极短路，发射器的阴极和阳极分别与等离子...

一种等离子废气处理系统，属于废气处理技术领域。包括反应腔,反应腔内配合设置等离子体发生器，等离子体发生器上设置工艺进气口，反应腔底部出口与初级水洗系统配合连接，初级水洗系统出口分别与次级水洗冷却系统、过滤系统配合连接；还包括水幕系统，水...

本实用新型的一种用于平板式镀膜系统的硅片承载架，包括承载孔和承载框，承载框用以承载硅片，且包括第一承载水平面、第一承载垂直面、第二承载水平面和第二承载垂直面；第一承载水平面和第二承载水平面通过第一承载垂直面垂直连接，第二承载水平面和第二...

本实用新型的一种用于平板式镀膜系统的硅片承载架，包括承载孔和承载框，承载框用以承载硅片，且包括承载水平面、承载垂直面和承载侧面；承载孔的四角均设置有倒角；承载水平面和所述承载侧面的底部通过承载垂直面连接，承载侧面由下往上逐渐向外倾斜，承...

本实用新型的一种用于平板式镀膜系统的硅片承载架，包括承载孔和承载框，承载框用以承载硅片，且包括第一承载侧面、承载垂直面和第二承载侧面；第一承载侧面和第二承载侧面通过承载垂直面连接，第一承载侧面和第二承载侧面均由内往外逐渐向外倾斜，第一承...

本实用新型的一种用于平板式镀膜系统的硅片承载架，包括承载孔和承载框，承载框用以承载硅片，且包括承载底面、第一承载侧边和第二承载侧边；承载底面水平设置，第一承载侧边和第二承载侧边通过承载连接边连接并对应设置；沿着第一承载侧边到第二承载侧边...

本实用新型的一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，前蓄液腔体与隔液板之间形成前蓄液内腔，后蓄液筒和隔液板之间形成后蓄液内腔；前蓄液内腔和后蓄液内...

本实用新型的一种用于平板式PECVD镀膜系统的腔体结构，包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板和底板，所述第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板的底部均与所述底板连接以形成容纳腔；所述第一侧板和所述第三侧板的上部均设置有水平段和垂直...

本实用新型的一种平铺式扩散装置，包括扩散腔体，扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，第一加热装置设置在传送装置的上方；传送装置由多组滚轮构成，滚轮通过转动以传送硅片在扩散腔体内运动。本...

本发明的一种链式扩散系统，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；所述扩散单元包括扩散腔体；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述扩散腔体内设置有用以...