本技术属于蓝宝石晶圆的加工领域，本技术涉及一种蓝宝石晶圆倒角过程中使用的砂轮，为了解决目前尚缺少一种专用于蓝宝石倒角，并不改变蓝宝石最大外径的砂轮的问题；本方案它包括砂轮本体，所述砂轮本体为空心圆盘状，砂轮本体的内圆用于与高转速磨削设备...

一种蓝宝石晶片取片装置及取片方法，属于蓝宝石晶片转运技术领域，本发明为了解决现有在利用气囊逐一对研磨后的蓝宝石晶片进行取出作业时容易造成晶片外观磨损，容易出现产品外观不良的问题以及取出效率差的问题，本申请包括取片板、机械阀、多根走气管和...

一种蓝宝石晶片研磨装置及研磨方法，属于蓝宝石双面研磨加工技术领域，本发明为了解决现有蓝宝石晶片在进行双面研磨时由于研磨液的流量不稳定，导致研磨盘的盘面平整度有所变化，影响后续蓝宝石晶片的加工质量的问题，本申请在传统双面研磨机的基础上增加...

一种蓝宝石notch晶片豁口倒角定位装置及方法，它具体涉及蓝宝石晶片加工技术领域。本发明为了解决现有平边晶片的加工流程无法满足改变外观形状后的notch晶片加工操作的问题。本发明定位装置包括定位座、伸缩插件组件和真空吸附组件，定位座固接...

一种用于蓝宝石晶片退火工序的退火炉及高效退火方法，属于蓝宝石退火技术领域，本发明为了解决现有退火设备只能对批量厚度一致的蓝宝石晶片进行退火，十分影响蓝宝石晶片退火效率的问题，本申请包括炉架和多个退火单元，炉架的底部设有支腿结构，炉架内部...