本发明涉及一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法，该处理装置包括：旋风分离器；所述旋风分离器的侧壁开设有进气口，顶部开设有出气口，底部开设有排灰口；所述进气口通过第一管道与反应炉的尾气出口连接，所述出气口通过第二管道与真空泵尾气...

本发明涉及一种碳化钽涂层石墨部件的制备方法。制备方法包括以下具体步骤：通过热处理除去所述石墨基底表面的杂质；提供Ta源、Ta的氟化物、混合盐和石墨基底，通过低温熔盐气相沉积法在石墨基底上制备预涂层，得到预涂层件；将预涂层件放置CVD炉反...

本发明涉及一种半导体生长的碳化钽涂层石墨部件及其制备方法

本实用新型涉及硅外延生长的技术领域，公开了用于硅外延生长的石墨托盘，包括：托盘组件和支撑转轴；本实用新型在托盘主体上设置了凹槽结构，以在托盘主体进行硅外延生长时减少托盘主体因受热膨胀而产生的应力集中现象，避免托盘主体和托盘主体表面的Si...

本实用新型提供一种气浮旋转装置及碳化硅外延生长设备。所述气浮旋转装置包括气浮托盘、石墨底座、螺杆和旋转测速装置，所述螺杆一端与所述气浮托盘可拆卸连接，另一端贯穿所述石墨底座后与所述旋转测速装置固定连接，所述石墨底座上设置进气口、至少两个...

本实用新型提供一种石墨基座及硅外延生长设备。所述石墨基座包括包括基座本体和设置在所述基座本体一侧上用于生长外延片的多个口袋，所述基座本体的中心设置第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和所述第二卡槽设置在所述基座本体的同一面，所述口袋设置在所...

本发明涉及数据处理的技术领域，提供了一种工艺配方参数的处理方法及装置，其中方法包括：获取CVD工艺设备的工艺配方参数及数据，其中，所述工艺配方参数包括温度、压力、流量、电流、电压；针对所述CVD工艺设备的每个工艺配方，系统将创建一个唯一...

本发明涉及生产监控技术领域，公开了一种基于Wincc的CVD炉生产监控系统，用于实时监测并修改调整生产数据并且可以追溯历史生产数据。所述系统包括：上位机、下位机和检测装置；上位机用于：对CVD炉的设备和参数进行监控和管理；以及读取CVD...

本发明涉及数据处理领域，公开了一种CVD设备的压力控制方法及系统，用于提高对CVD设备的压力控制的准确率。方法包括：基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；通过预置的自适应算法对所...

本发明涉及数据处理技术领域，提供了一种CVD设备的数据采集方法和装置，其中方法包括：通过通讯协议连接CVD设备；其中，所述CVD设备上设置有多个传感器用于采集CVD设备的各项参数；所述参数至少包括温度、压力、流量、电流、电压；获取所述C...

本发明涉及人工智能领域，公开了一种CVD设备的设备数据分析方法及系统，用于实现智能化的CVD设备数据采集和分析并提高CVD设备的数据分析准确率。所述方法包括：根据多个特征属性参数和设备参数数据构建第一参数集合；对温度数据和多个特征属性参...

本发明涉及半导体外延生长设备的技术领域，公开了一种用于外延生长的LPE设备，包括：反应器和进出气装置；本发明通过将2个动力气孔连通动力气导流结构和托盘结构改为增加至3个及以上的动力气孔连通动力气导流结构和托盘结构，令动力气驱动转盘结构进...

本发明提供了一种用于外延生长的反应装置，包括：反应器、石英腔、感应加热装置与进出气装置，所述感应加热装置包括感应加热线圈，所述感应加热线圈缠绕于石英腔外部，所述反应器设置于石英腔内部，所述进出气装置与所述反应器连接，本发明中感应加热线圈...

本发明提供了一种CVD工作台旋转装置及CVD装置，CVD工作台旋转装置包括：旋转工作台，所述旋转工作台包括：主动旋转工作台和从动旋转工作台，所述主动旋转工作台和从动旋转工作台外侧均镶嵌齿套，主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套啮合...

本发明提供了一种碳化硅桨的烧结工装，包括固定模块，所述固定模块包括：主体框架，所述主体框架周侧连接若干：可调节定位位置的定位连接装置。本发明使用时，将待烧结的碳化硅浆放入固定模块中的主体框架内，并通过调整主体框架连接的所有顶针的位置，使...

本发明适用于激光切割技术领域，提供了一种碳化硅晶圆激光切割设备，所述碳化硅晶圆激光切割设备包括：操作台，所述操作台上转动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹连接有第一螺纹块；安装板，安装在所述第一螺纹块上，所述安装板上安装有激光自动切...

本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，...

本发明提供了一种耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件，包括：承载大盘、若干支撑及固定装置、若干托盘、机械驱动机构；所述承载大盘上通过若干支撑及固定装置连接有若干托盘，所述机械驱动机构用于驱动所述承载大盘及所述托盘转动。本申请在MOCVD或高温CV...

本发明提供了一种感应加热外延设备，包括：主腔体，主腔体连接有工艺气体进气管组；上感应加热装置、下感应加热装置，上感应加热装置包括上加热板，下感应加热装置包括下加热板，上加热板、下加热板分别覆盖在主腔体上下两侧，上加热板、下加热板外侧均设...

本发明适用于机械手领域，提供了一种石墨盘加工转运机械手，包括底座，还包括：移动组件、夹取组件和清洁组件；所述移动组件设置在底座上，所述夹取组件设置在移动组件上，所述夹取组件包括安装外壳、第二导向柱、牵引板和第二伸缩缸，所述安装外壳固定安...