一种带台阶的磁控溅射靶材，包括靶身和位于靶身两侧的两个靶头，所述靶头的厚度大于靶身的厚度，所述靶身由1～4块平面靶材构成，所述靶头与相邻的平面靶材一体成型形成溅射面为平面、与背板贴合面为两端带台阶的结构。本技术将靶头与全部靶身或部分靶身...

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将氧化铟和氧化锡微纳米粉体按铟含量进行配比混合，再加入助烧结剂三氧化二锑，混合研磨均匀，成型得到坯体；（2）将所得坯体脱脂后进行烧结，制得高密度（相对密度≥99.5%），低电阻...

本发明涉及ITO薄膜领域，具体公开了一种新型ITO靶材及其制备方法，靶材包括氧化铟和氧化锡，两种配比为90：10；制备方法包括以下步骤，分别在不同温度下煅烧不同配比的氧化铟和氧化锡，再将两种不同的混合粉体重新组合成氧化铟和氧化锡质量占比...

本发明涉及平面靶材领域，具体公开了一种平面靶材绑定的方法，将背板、金属铟、靶材逐层层叠，在背板和金属铟之间插入金属丝，金属丝的首尾两段连接超声波振动器，初次校正靶材和背板的方位，背板升温、超声波振动器带动金属丝振动，开始绑定靶材，绑定结...

本技术涉及一种ITO废浆料脱脂装置，包括依次布置的安装平台、浆料过滤脱水装置、隧道脱脂炉和粉碎机，安装平台上安装有推料液压缸，推料液压缸的液压杆安装有推料板，浆料过滤脱水装置包括液压缸安装架、挤压液压缸、升降液压缸、上活动槽体、挤压板、...

本技术涉及一种管状靶材烧结辅助装置，包括底座、支撑柱和至少三个氧化铝块，所述底座为中部开有进气孔的圆环平板结构，所述支撑柱为中部开有进气通道的中空圆柱，所述氧化铝块与底座下端面固定连接，所述支撑柱的底端固定安装在底座上端面上，所述支撑柱...

本发明涉及一种清洁ITO靶材承烧垫片的方法，包括以下主要步骤：将表面附着ITO残留物的的承烧垫片放入真空炉中高温1550～1650℃加热，并保持一定的真空度；然后降至1300～1400℃，通空气或氧气保温，然后再一次加热至高温1550～...

本发明公开了一种ITO靶材的常压烧结方法，属于ITO靶材加工技术领域，该常压烧结方法包括以下步骤：1、将脱脂后的靶材，烧结时垫片与承烧板的接触面采用棱支撑，垫片与靶材接触面保持光滑平整；2、放置于垫片上的靶材表面均匀铺一层氧化铝细沙；3...

本实用新型涉及一种大尺寸陶瓷靶材测密度装置，包括称量组件、水池、滚轴托板和叉臂升降组件；称量组件包括支架、电子称和刚性悬挂盘，刚性悬挂盘与电子称连接，叉臂升降组件包括底座、驱动推拉杆、滑板、连接杆和至少两个叉臂，驱动推拉杆底端安装在底座...

本实用新型涉及一种大尺寸平面陶瓷靶材装窑辅助装置，包括龙门架、上下左右微调滑台组件、大位移电机、前后微调滑台组件和叉臂组件；龙门架包括龙门架本体和安装在龙门架本体上的齿条以及大位移直线导轨；上下左右微调滑台组件包括上下滑台、左右滑台、上...

本发明涉及一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法，包括以下主要步骤：将ITO粉与水混合，并加入添加剂，球磨得到浆料；然后将浆料过滤后形成滤饼；配制琼脂糖溶液，并与滤饼混练，之后静置凝固。将所得物料，真空练泥后，用挤出成型机挤出成型得...

本发明涉及一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法，以ITO残靶作为原料，通过清洗、研磨、过筛，然后按比例酸解、沉淀、清洗、掺脂、造粒，经成型后在常压下分解、脱脂，在常压或无压的氧气气氛中烧结而成。本发明以残靶作为原料，采用酸浸泡部分溶解后加...

一种镍锗蛇纹石复合材料的制备方法及在电催化中的应用，通过选择高导电性及高强度的多孔Mo2N作为层状Ni3Ge2O5(OH)4纳米片的支撑材料，采用水热法，得到了Mo2N/Ni3Ge2O5(OH)4的高性能电催化OER复合材料。本发明技术...

本实用新型涉及一种多种不同尺寸平面靶材的成型装置，包括底座、液压缸组件、上压块和多个用于成型不同尺寸的模具，所述液压缸组件主要是由多个液压缸和多个安装架构成，液压缸通过安装架安装在底座上，所述上压块的上端面与液压缸组件的全部液压缸同时连...

本实用新型涉及一种平面靶材绑定间隙的清理装置，包括底座、上框架、升降控制轴、左转动轴组件、右转动轴组件、电机和由电机带动的环状清理丝线，上框架插接在底座上，升降控制轴上部设置有用于顶升上框架的定位轴承，升降控制轴穿过上框架，升降控制轴的...

本发明涉及一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）取净化处理过的ITO靶材废料进行破碎；（2）破碎后的粉料，用20‑40目筛网过筛，未过筛网的较大碎颗粒回收，过筛网的粉料待用；（3）再将粉料用100‑200目筛网过筛，未过筛...

本发明涉及一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，包括以下步骤：（一）含铟原料的制备：将铟金属用有机酸进行溶解，得到有机酸铟溶液待用或者进一步向其中加入醇，使其产生氢氧化铟沉淀待用；（二）混入含钨原料：将仲钨酸铵或偏钨酸铵溶解于上述有机酸铟溶液或...

本发明涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置及采用该装置的旋转靶材绑定方法，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置...

本发明涉及一种大比表面积纳米二氧化锡的制备方法，包括以下步骤：将分析纯五水合四氯化锡溶解于纯水中，得浓度为3～5mol/L的四氯化锡溶液；加入沉淀剂，控制反应温度为60～80℃，反应液pH值为6.5～7.5；加入转化剂，控制料液pH值为...

本实用新型涉及一种靶材密度测量装置，包括液体槽、与液体槽连通的细管、安装在液体槽内的载物台、主处理器和测距装置，测距装置安装在细管顶端，细管内设置有用于配合测距装置测距的塑料浮片，液体槽内盛装有液面高度高于载物台的液体，主处理器包括称重...