本技术属于镀膜设备技术领域，公开了一种镀膜运料装置，镀膜运料装置包括机体、第一运料机构和第二运料机构。机体包括第一腔室和第二腔室，第一运料机构包括第一运料驱动器和第三腔室，第二运料机构包括限位部和第二运料驱动器，第一运料驱动器能够沿第一...

本发明属于真空镀膜技术领域，公开了连续式真空镀膜设备。该设备包括进片室、出片室、搬送室和成膜室。进片室内设有第一载置机构，第一载置机构用于放置未镀膜的基板，第一载置机构能带动未镀膜的基板升降；出片室内设有第二载置机构，第二载置机构用于放...

本发明公开一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备，该系统包括：参照模块，设置于真空腔内；图像采集模块，用于对工件装载板和参照模块进行同步采集，得到图像数据；其中，图像数据包括参照模块的第一特征区域和工件装载板的第二特征区域；...

本发明公开一种镀膜机工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备，该倾斜检测系统包括：采样区域获取模块，用于在工件装载板的周围区域建立至少一个采样区域；图像采集模块，用于获取采样区域的第一图像数据；图像处理模块，用于对第一图像数据进行二值化处...

本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种双面镀膜设备及镀膜方法。其中双面镀膜设备的壳体设置有镀膜腔；转架转动设置于镀膜腔内，转架的周向设置有至少一个翻转位；多个安装架沿周向间隔安装于转架上，安装架可转动安装于转架，安装架用于安装待镀膜产品；...

本技术属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜监控系统及真空镀膜设备。该镀膜监控系统的监控片包括多个沿径向和周向分布的监控点位，在薄膜沉积源的作用下监控点位处能被沉积薄膜；监控点位选择单元的第一通孔用于选择性地使至少一个监控点位暴露于薄膜沉积源...

本发明属于光学薄膜领域。本发明提供了一种滤光片及其制作方法与应用，所述滤光片在基板上依次设置有按不同的堆叠结构形成的减背反膜堆、高透膜堆及减反膜堆，三种膜堆分别用于降低基板面的反射、保证在激光雷达在工作波长范围内保持高透过率，以及降低薄...

本技术属于真空镀膜技术领域，公开了旋转机构及真空镀膜膜厚监测装置。旋转机构包括工作机构，以及可拆卸设置于支撑架的托盘，工作机构包括工作件、连接件和设置于支撑架的驱动机构，工作件与连接件可拆卸连接，且连接件沿第一方向滑动连接于驱动机构的输...

本技术属于真空镀膜技术领域，公开了调节装置、真空泵装置及真空镀膜设备。其中，调节装置包括第一调节结构，第一调节结构包括万向调节件，万向调节件的第一连接部与驱动机构的输出端连接，万向调节件的万向调节部与第二零件活动连接；驱动机构能带动第二...

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了真空镀膜设备及真空镀膜方法。该设备包括转运装置、镀膜室和加料室；转运装置包括搬运室以及与搬运室选择性连通的进片室和出片室，进片室和出片室均与外部环境选择性连通，转运装置设有用于在进片室、搬运室和出片...

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了真空镀膜方法及真空镀膜设备。该方法包括以下步骤：向镀膜室内的蒸发源主体添加物料；将基板治具定位于镀膜室内；将位于预熔位的蒸发源主体内的物料加热至预熔温度，将位于蒸发位的蒸发源主体内的物料加热至蒸发温...

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了蒸发装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法。该装置包括设有多个工作位的承载盘和蒸发源主体；承载盘能够绕切换轴线旋转，多个工作位绕切换轴线周向分布；蒸发源主体安装于承载盘，每个蒸发源主体均位于一个工作位，承...

本技术公开了一种真空镀膜室及真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域。真空镀膜室包括镀膜腔、镀膜架和防护体，镀膜架设于镀膜腔内，镀膜架的周向设置有多个挂载位，用于挂设基板，多个基板的镀膜表面朝外挂设于多个挂载位后能将镀膜架的周向围合。防护...

本发明属于真空处理设备领域，尤其涉及一种真空处理设备及真空处理设备的控制方法。该真空处理设备中包括支架、旋转组件、转轴组件、测距组件和监控组件，支架设于真空处理腔室，转轴组件可转动连接于支架；旋转组件包括支撑件和连接于支撑件两端的第一旋...

本发明属于真空镀膜技术领域，公开了一种注液装置、镀膜设备及控制方法，注液装置包括药瓶、注液泵、分流器、第一开关阀、排气瓶、第二开关阀和注液嘴，分流器设置有主流道、进液流道、排气流道以及多个分流流道，进液流道、排气流道以及多个分流流道均与...

本发明涉及镀膜夹具技术领域，具体公开了旋转式装载机构及镀膜设备。该机构包括夹持模块、固定模块和转动模块；夹持模块，能将若干工件沿排布方向间隔定位，且能为每两个相邻的工件提供一个自由度，用以绕倾斜方向相对转动，倾斜方向与排布方向成夹角设置...

本技术涉及工件设备技术领域，尤其涉及一种搬运装置。搬运装置包括：X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、旋转机构和支撑台，X轴移动机构用于使工件沿X轴方向运动；Y轴移动机构安装于X轴移动机构；Z轴移动机构安装于Y轴移动机构；旋转机构安...

本技术公开了一种真空封闭门、真空镀膜室和真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域。真空封闭门包括门框、门体和驱动件，门体滑设于门框的滑轨内。门体包括平行设置的密封门和压紧门，密封门和压紧门之间设有传力机构，传力机构包括第一传力组件、第二传...

本技术公开了一种基板装载架及真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。该基板装载架包括公转架和自转架，公转架包括第一驱动件和公转盘，第一驱动件与公转盘连接，用于驱动公转盘转动。公转盘的周向间隔设有多个自转架，自转架包括第二驱动件和自转盘，自转...

本技术公开了驱动装置及真空泵装置，该驱动装置，驱动轴沿轴向靠近驱动件的第一端转动连接于阀体，第一连接结构包括连接座，连接座的第一连接部与驱动轴的第二端转动连接，且第一连接部和驱动轴的第二端均与阀体间隙配合，连接座的第二连接部沿驱动轴的轴...