本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种自清洁视窗，包括：视窗主体，包括视窗容纳孔和与所述视窗容纳孔连通的馈通孔；透光板，设置在所述视窗主体的视窗容纳孔内；至少一个不封闭导电环，设置于所述透光板的至少一侧表面上；以及馈通，与所述视窗主体的...

本公开涉及真空设备技术领域，具体涉及一种真空递送装置及真空处理系统。真空递送装置，包括真空固定腔、波纹管、后端组件、导轨、装料组件、线性驱动组件。真空固定腔包括前端法兰口和后端法兰口。波纹管包括前端法兰和后端法兰，波纹管的前端法兰与真空...

本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种真空传样装置，包括真空腔、传动组件、驱动机构和传样台。传动组件至少部分设置在真空腔内，传动组件包括旋转轴组件，至少部分设置在真空腔内，旋转轴组件包括旋转轴，能够绕轴向旋转。驱动机构包括旋转驱动机构，...

本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种旋转驱动机构及真空处理系统。旋转驱动机构包括偏心转轴、转动摆块和驱动装置。偏心转轴包括偏心段和中心段。转动摆块套设在偏心转轴的偏心段的外部并且能够带动偏心转轴绕自身的旋转轴线旋转。驱动装置与转动摆块...

本公开涉及真空设备技术领域，特别涉及一种真空门结构及真空系统。真空门结构包括固定法兰、活动法兰、浮动铰链。固定法兰与真空腔体固定连接，包括设置在横向第一侧的第一凸起和与第一凸起纵向相对的第二凸起，第一凸起包括第一纵向通孔，第二凸起包括第...

本申请涉及真空设备技术领域，公开了一种真空传样装置及真空传样系统。真空传样装置包括样品车和传样车。样品车包括样品车架和样品车滑动组件。样品车架用于承载至少一个样品。样品车滑动组件设置在样品车架底部。传样车包括传样车体，传样车体用于承载样...

本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种摆臂式束流规及真空处理系统。摆臂式束流规包括摆臂运动机构、束流检测机构和线性驱动机构。摆臂运动机构包括固定底座、运动底座和连接杆组件。运动底座与固定底座远端转动连接，能相对于固定底座转动。连接杆组件...

本公开提供了一种样品架停放台，包括：样品架承载座，用于承载样品架；承载座连接头，与样品架承载座固定连接，用于承载样品架承载座；转接轴，与承载座连接头之间通过轴孔配合转动连接；以及至少一个第一紧定螺钉，与承载座连接头和转接轴连接，用于锁定...

本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种真空位置调节装置及真空传样系统。真空位置调节装置，包括支撑杆组件、平移滑座和摆动滑座，摆动滑座可以相对于平移滑座摆动。摆动滑座包括升降调节螺栓，与支撑杆组件中的支撑杆的下端螺纹连接，用于调节支撑杆的...

本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种裂解源装料装置，包括第一纵向支架、第二纵向支架、承载支架、第一转轴、第二转轴、翻转蜗轮蜗杆减速机。第二纵向支架与第一纵向支架相对设置。承载支架设置于第一纵向支架与第二纵向支架之间，用于承载裂解源。第...

本公开涉及真空设备技术领域，具体涉及一种真空装置对接设备及真空处理系统。真空装置对接设备，包括：支架框架，至少一根纵向导轨，沿纵向设置在支架框架上；至少一个纵向滑块，滑动设置在至少一根纵向导轨上；安装板，近端表面与至少一个纵向滑块固定连...

本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种衬底托盘取放装置及真空取样系统。衬底托盘取放装置包括导轨组件、传样车、车体驱动组件和取样组件。导轨组件包括一根或多根导轨。传样车包括车体、滑动组件、承载平台。滑动组件设置在车体底部并且设置在一根或多...

本公开提供了一种真空载样车及真空系统，真空载样车包括：车体，包括载样架，所述载样架用于承载至少一个样品；滑动装置，设置在所述车体的第一侧，用于使所述车体滑动；驱动装置，设置在所述车体的第二侧，用于接收驱动以带动所述车体滑动，所述车体的第...

本公开提供了一种用于真空系统的铰链组件及真空系统，用于真空系统的铰链组件包括：固定件，包括固定通孔；活动件，包括铰接通孔；以及转轴，固定设置在固定通孔中，穿过铰接通孔，铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对...

本公开提供了一种真空样品转移组件及真空系统，真空样品转移组件包括真空筒；杆体，至少部分地设置在真空筒内；插头，设置在杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动杆体运动；以及驱动...

本公开涉及了一种收集装置、真空系统以及收集方法，收集装置包括：真空腔，用于接收包含可收集材料的混合气体；冷凝装置，设置在真空腔内，用于冷凝和转移混合气体中的可收集材料；以及收集器，包括：收集腔，与真空腔连接，用于收集转移的可收集材料。于...

本公开提供了一种真空传递装置及真空系统，真空传递装置包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。用于引导样品架。用于引导样品架。

本公开提供了一种自清洁等离子净化器，包括：基座，包括插头；正离子释放器阵列，设置在基座上，包括多个用于释放正离子的正离子释放器；负离子释放器阵列，设置在基座上，包括多个用于释放负离子的负离子释放器；清洁机构，设置在基座上，用于清洁正离子...

本公开提供了一种真空样品托组件，包括：样品托盘和安装组件。样品托盘包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在开口外围。安装组件包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件。至少一个主体安装连接件用于与至少一个连接...

本公开提供了一种多蒸发源装置及真空系统，多蒸发源装置包括：真空法兰；以及多个蒸发源组件，设置在真空法兰上，多个蒸发源组件包括：第一蒸发源组件，包括：第一坩埚，用于盛放第一蒸发源材料；第一加热装置，与第一坩埚热耦合，用于加热第一坩埚中盛放...