本发明公开一碳化硅蚀刻剂，其通式MXO2，M为碱金属或铵，X为卤素，O为氧。当碳化硅蚀刻剂与磨料颗粒混合成水溶液浆料状型态，MXO2蚀刻剂作为摩擦化学反应剂，用以加速在化学机械研磨过程中碳化硅材料的移除速率。该移除速率相比于其他不含此亚...