本发明涉及一种MEMS传感器的控制装置及方法，其中的装置包括：光纤激光器、激光器电源、位移调节平台、驱动控制器、微机电系统MEMS传感器和处理器；光纤激光器的激光发射光纤头与位移调节平台固定，光纤激光器与激光器电源连接，位移调节平台与驱...