本发明涉及具有保护电路的电源，具体提供了一种用于向负载提供交流功率的电源电路，包括用于接收直流输入信号的逆变器。逆变器包括两个半桥。每个逆变器由一个信号源驱动，所述信号源输出交流信号。每个逆变器的输出被输入到第一级谐波滤波器。所述电源包...

本发明的热转换方法与阻抗匹配电路将匹配电路的调谐范围扩展为包括增加的功率电平。此热转换方法与电路包括将受控阻抗网络耦合在射频（ＲＦ）发生器输出端与等离子体腔输入端之间来匹配阻抗。此受控阻抗网络包括用于转换预定阻抗的ＲＦ开关。确定此ＲＦ开...

一种射频（ＲＦ）探测分析系统具有宽带设计。此分析系统包括一个用于根据多个模拟信号产生数字功率信号的取样单元。这些模拟信号表征由一个ＲＦ功率供给系统供给一个等离子体室的功率。此分析系统还包括一个用于根据数字功率信号产生一个数字频谱信号的数...

本发明提出了一种射频（ＲＦ）探测头装置，用来测量一条采样传输线内的ＲＦ信号的电压和电流。这种探测头装置包括：一个导电外壳，一条在导电外壳内的母线，一对安装在导电外壳上的、配置成通过母线将ＲＦ信号传入和传出外壳的连接器，一个在外壳内的电压...

提出一种材料处理数据通讯系统和方法，用于在材料处理系统的内部装置之间传送信息。数据通讯系统包括至少两个数字通讯端口，用于在材料处理系统的内部装置之间传送数据。与第一内部装置相关的第一数字通讯端口，其通过物理链路和与第二内部装置相关的第二...

本发明提供了一种用于等离子体功率发生器的通信接口系统和方法。这种通信接口系统包括一个供电系统组件，该组件有一个标准ＰＯＤ接口，用于传送遵从第一协议的信息。在该标准ＰＯＤ接口和一个第二通信接口之间连接一个便携装置，用于在两者之间传送信息。...

本发明涉及一种具有模块化结构和多个模块的工业供电系统。各模块经由数字通信链路互连，并采用数字格式交换数据。系统的模块化特性使得系统能够伸缩，以调整产品未来的容量。

本发明提供了一种用于控制发生器的输出的方法。该输出向具有阻抗的负载提供具有稳定时间的输出信号。输出信号的稳定时间被确定。用调制波形对输出信号进行调幅。产生表示经过调制输出信号的传感信号。按照一个基于输出信号的稳定时间而确定的采样时间对传...

一种提供改进的操作和占空因数控制的激励器件，该激励器件包括： 开关装置，用于根据激励信号以占空因数工作；以及 栅极激励装置，用于根据输入信号，产生半正弦波输出信号，用作开关装置的激励信号，该栅极激励装置具有与开关装置的栅极相...

一种ＲＦ发生器被提供用于ＲＦ等离子体系统中。该ＲＦ发生器包括：在一个调谐频率上产生ＲＦ功率信号的功率源；适合于检测该ＲＦ功率信号并且产生表示该ＲＦ功率信号的模拟信号的传感器单元，其中该模拟信号包括所需的频率成分和多个干扰频率成分；以及适...

一种整流器电路，使用没有中线连接的三相交流输入向三个电源转换模块供电。第一、第二和第三桥式整流器被分别连接到三相交流输入的第一、第二和第三相，并产生第一、第二和第三整流波形。介于第一、第二和第三桥式整流器之间的连接形成一条虚拟中线。各电...

一种基于一个功率耦合器的输出信号来确定相位的相位检测器。该功率耦合器输出第一信号与第二信号。第一信号及第二信号被输入到一个幅度检测器，后者确定第一信号与第二信号之间的相对相位的幅度。第一信号与第二信号还被输入到一个符号鉴别器，后者确定第...

用模糊逻辑和神经网络表征等离子体工艺的自适应等离子体表征系统和方法，包括收集输入输出学习数据，输入学习数据基于与控制等离子体工作室的电功率有关的变量并从执行等离子体工艺得到。此方法还包括根据学习数据产生模糊逻辑输入输出隶属函数。此隶属函...

用于ＲＦ探头的探测界面改进由ＲＦ功率产生的热量散失。该界面包括用于把ＲＦ功率输送到等离子室的导线，和用于产生基于ＲＦ功率的模拟信号的检测板。一种电绝缘套管被配置在导线和检测板之间，套管是导热的，使套管散失由ＲＦ功率产生的热量。通过使用导...

提供一种流体可变电容器，其体积密度、耐电压性、可靠性都优于普通的可变电容器，而且成本较低。该流体可变电容器包括一个壳体，该壳体装有导电的定片和动片。一种电介质流体将所述定片和动片隔开。一运动装置与所述动片相连，用来使所述动片相对于所述定...

一种用无源电路控制直流溅射系统中的电弧形成的方法和系统，该电弧控制系统包括：溅射腔；此溅射腔包括阳极和由靶材料形成作为阴极的溅射靶。直流电源，用来提供直流阴极电压使阴极电流由阳极流向阴极；谐振网络，连接在直流电源和腔之间，此谐振网络具有...

本控制电路和方法扩展了数字采样控制回路的操作范围。发生器的可编程输出得到控制。可编程输出包括具有相应设定点的输出电平。发生器具有一个驱动输入，它被驱动到一个实际的驱动点来控制可编程输出的输出电平。确定一个与需要的输出电平相对应的设定点。...

一种用于动力输送系统的故障预测系统。动力输送系统包括许多同一个系统监测器互连的组件。系统监测器收集关于每个组件的工作参数与环境参数的数据。系统监测器分析这些数据以便根据参数确定状况。然后把一组规则应用于参数以确定是否应发出警告或故障指示...