本技术涉及产品在线检测技术领域，公开了一种可适用不同产品的在线式3D检测装置，包括固定架、3D线激光测量仪、安装在固定架上的驱动3D线激光测量仪横向移动的X轴直线模组、驱动3D线激光测量仪纵向移动的Y轴直线模组、驱动3D线激光测量仪竖向...

本技术公开了一种可多尺寸兼容的晶圆载盘，包括承载盘，所述承载盘的下端等角度安装有多个可对承载盘平衡调节的支撑机构，所述承载盘的一侧安装有传感器固定件，所述承载盘的上表面可拆卸安装有多个对晶圆导向和限位的限位导向钉；本技术通过限位导向钉与...

本技术设计一种气体模块化控制系统，包括柜体、抽气系统、气体流量模块以及控制系统，所述柜体内部设有内腔，抽气系统设于柜体的底部且连通内腔，所述气体流量模块设于柜体内部且通过管道连接外部的工艺腔室，所述控制系统设于柜体的顶部用于控制抽气系统...

本技术公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构，包括不锈钢圆筒型的真空腔体，所述真空腔体的内部安装有不锈钢材质的支撑杆；本技术通过将真空腔体设置为圆筒型，将石墨舟放入真空腔体内的支撑杆固定位置上，石墨舟分别对接真空腔体内的电极管接头，...

本发明公开了一种双视觉接触角测试仪器，涉及测量仪技术领域，包括保护罩、机架、光源、承载单元、成像单元与注射单元，保护罩用于保护测试液体不受污染与发生形变，影响检测结果，机架用于安装固定光源、承载单元、成像单元与注射单元，承载单元用于待测...

本技术公开一种双喷射便携式接触角测量仪，包括外壳以及设于外壳内的液体储存组件、喷射组件、照明组件、摄像组件以及电路板，其中，液体储存组件，包括双储液瓶；喷射组件，包括双点滴阀，各点滴阀的入液端与对应的储液瓶输出端连接，各点滴阀的滴液端外...

本技术涉及一种等离子体均匀分布的气体分流装置，包括进气接头、等离子体生产室、承托板以及匀气装置，所述等离子体生产室安装于承托板上方，所述匀气装置安装于承托板下方，所述进气接头、等离子体生产室、承托板以及匀气装置依次连通，所述等离子体生产...

本技术公开一种真空等离子反应腔装置，通过使用绝缘框、第一电极板结构和第二电极板结构合围形成反应腔，相较传统使用铝合金腔体，能减少能耗，绝缘框替代了传统特氟龙涂层绝缘，满足客户的需求；第一电极板结构上的第一散热流道和第二电极板结构上的第二...

本发明涉及接触角测量技术领域，具体为一种多角度调节的接触角滚动角测试治具，测试治具包括光源、主体机构、注射机构、载物机构、滚动角治具和检测机构，光源和主体机构连接，主体机构和注射机构连接，主体机构和载物机构连接，主体机构和滚动角治具连接...

本发明公开了晶圆生产设备技术领域的一种桌面式快速退火炉，包括第一壳体，还包括炉体，所述炉体固定设置在第一壳体内，所述炉体内固定连接有多个分上下两层分布的加热灯；保温壳，所述保温壳外壁固定连接有第二壳体，所述第二壳体外接有水冷装置；固定机...

本发明公开了一种接触角电机光源控制系统，属于接触角电机光源控制技术领域。本发明系统包括：光源控制模块、电机控制模块、数据处理与分析模块以及结果输出模块；且本发明的接触角电机光源控制系统的电路包括：光源电路、控制电路、电源管理电路、驱动电...

本技术涉及一种等离子体电感耦合去胶装置，包括了进气装置、等离子体生产室、耦合装置、匀气装置、去胶反应室以及抽气装置，所述进气装置、等离子体生产室、去胶反应室以及抽气装置依次连通，所述等离子体生产室的外壁套接有耦合装置，所述匀气装置设置于...

本技术涉及一种等离子去胶机的偏压控温载盘，包括陶瓷底环、偏压盘、绝缘连接环、绝缘底盘、隔断环、陶瓷顶环、控温载盘以及油路连接管，所述陶瓷底环和绝缘连接环围合成绝缘框架，所述偏压盘安装于绝缘框架中，所述偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘从下到上...

本技术公开了一种半导体去胶设备的顶升顶针装置，包括定制气缸，所述定制气缸外壁的两端焊接有连接块，其中一个所述连接块的外壁通过螺丝固定有三角板，所述三角板的中部开设有供金属波纹管贯穿的通孔，所述定制气缸的伸缩端位于金属波纹管内；本技术通过...

本发明公开了玻璃输送技术领域的一种处理面带滚轮的除尘装置，包括用于输送玻璃的输送线，所述输送线侧边设置有USC除尘机构；所述USC除尘机构包括侧板，所述侧板设置有两个，两个所述侧板共同固定安装有除尘头，所述除尘头的顶部设置有两个接风口；...

本发明公开了双棱镜折射接触角测试仪器，涉及测量装置技术领域，该测试仪器包括底板座，底板座上设置有移动载物台，移动载物台与底板座滑动连接，底板座上设置有测试台，测试台上设置有测试轨道，测试轨道上滑动有自动注液台与手动注液台，自动注液台内设...

本发明涉及镀膜技术领域，具体是一种常压等离子体沉积镀膜方法，利用常压等离子体轰击雾化成气体的含氟镀膜液，得到均一、致密、与基材结合力度强的疏水膜层；含氟硅烷为以N‑(2‑氨乙基)‑3‑氨丙基三甲氧基硅烷和对氯甲基苯乙烯为原料，通过亲核取...

本发明公开了一种手柄便携式接触角测量仪，其包括，控制手柄以及通过连接管连接的滴液成像主机，所述控制手柄包括：壳体，具有一开口的收纳腔；储液组件，收纳于收纳腔中；弹性锁扣组件，可移动地设于所述壳体，所述弹性锁扣组件的锁扣端在弹性力下与储液...

本发明涉及大气等离子镀膜系统技术领域，具体公开了一种镀膜系统温度控制模块，该发明通过控制器、温度采样电路、热循环机构、水冷循环机构和铝水冷却机构的协同配合，实现对镀膜系统中枪头温度的实时精确控制，通过镀膜系统设置好所需的枪头的温度，当温...

本发明公开了退火炉技术领域的一种半自动快速退火炉设备，包括机架，机架前方位置固定连接有控制面板，控制面板用于各部件动作逻辑的主控制；机架内固定连接有强电控制模块和弱电控制模块，强电控制模块主要包括主电源的接入；机架内固定连接有炉体，炉体...