本发明公开了玻璃输送技术领域的一种处理面带滚轮的除尘装置，包括用于输送玻璃的输送线，所述输送线侧边设置有USC除尘机构；所述USC除尘机构包括侧板，所述侧板设置有两个，两个所述侧板共同固定安装有除尘头，所述除尘头的顶部设置有两个接风口；...

本发明公开了双棱镜折射接触角测试仪器，涉及测量装置技术领域，该测试仪器包括底板座，底板座上设置有移动载物台，移动载物台与底板座滑动连接，底板座上设置有测试台，测试台上设置有测试轨道，测试轨道上滑动有自动注液台与手动注液台，自动注液台内设...

本发明涉及镀膜技术领域，具体是一种常压等离子体沉积镀膜方法，利用常压等离子体轰击雾化成气体的含氟镀膜液，得到均一、致密、与基材结合力度强的疏水膜层；含氟硅烷为以N‑(2‑氨乙基)‑3‑氨丙基三甲氧基硅烷和对氯甲基苯乙烯为原料，通过亲核取...

本发明公开了一种手柄便携式接触角测量仪，其包括，控制手柄以及通过连接管连接的滴液成像主机，所述控制手柄包括：壳体，具有一开口的收纳腔；储液组件，收纳于收纳腔中；弹性锁扣组件，可移动地设于所述壳体，所述弹性锁扣组件的锁扣端在弹性力下与储液...

本发明涉及大气等离子镀膜系统技术领域，具体公开了一种镀膜系统温度控制模块，该发明通过控制器、温度采样电路、热循环机构、水冷循环机构和铝水冷却机构的协同配合，实现对镀膜系统中枪头温度的实时精确控制，通过镀膜系统设置好所需的枪头的温度，当温...

本发明公开了退火炉技术领域的一种半自动快速退火炉设备，包括机架，机架前方位置固定连接有控制面板，控制面板用于各部件动作逻辑的主控制；机架内固定连接有强电控制模块和弱电控制模块，强电控制模块主要包括主电源的接入；机架内固定连接有炉体，炉体...

本发明涉及远程等离子源腔体技术领域，具体是一种远程等离子源腔体表面耐腐蚀处理工艺，以微弧氧化技术替代传统阳极氧化工艺，在远程等离子源腔体表面制备结构致密、抗菌、耐腐蚀、与基材结合力强的氧化膜层，通过热分解剥离法，利用钴盐作为掺杂剂，将层...

本发明涉及半导体加工领域，具体的说是一种用于半导体腔体自清洁的远程等离子设备，包括主框架、气泵，所述主框架的顶部固定连接有处理腔室，所述处理腔室的顶部安装有远程等离子体源，所述处理腔室与远程等离子体源之间设置有传输管，所述主框架的一侧固...

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体公开了一种晶圆传输系统和方法，通过上料腔、传输腔体、中转腔体和旋转升降装置的配合，在上料腔装卸料盒的过程中以及晶片在传送腔体中加工的过程中，都通过两个密封封板依次隔绝上料腔、中转腔体和传送腔体，使任...

本技术公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的远程等离子体气路系统，包括远程等离子源、可多级分流的分流板、控制单路或多路气体作为工艺气体的气路控制模块、腔体、抽真空匀气板和抽真空管道，所述分流板的一端连通有对工艺气体混气的汇流板，所述气路控制模块...

本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地，涉及一种应用于远程等离子源的点火方法、系统及设备。该方案包括采用耦合电容控制放电能量并设置2个点火电源OUT1和OUT2；设置腔室结构，用于与2个点火电源OUT1和OUT2连接，形成电容耦合放电区...

本技术涉及一种用于石墨舟干法刻蚀的远程等离子系统，包括进气系统、真空腔体以及排气系统，所述进气系统安装于真空腔体的顶部，所述排气系统连接于真空腔体底部，所述进气系统包括进气管、固态微波远程等离子体源、真空法兰座以及分流器，所述固态微波远...

一种具备高可靠传输的远程等离子装置及远程等离子设备，涉及等离子设备技术领域，包括等离子发生器、工艺腔体以及连通等离子发生器和工艺腔体之间的连通机构，连通机构，包括陶瓷护套、内胆、外圈和盖板，内胆包括安装部和柱体部，陶瓷护套安装于安装腔中...

本发明公开了一种用于远程等离子源的隔离驱动电路，属于微电子技术领域。本发明能够在不改变驱动变压器体积的情况下，通过级联的方式增加耐压能力，通过将驱动变压器的输出信号进行储能再通过Ultrafast MOSFET Drivers进行驱动信...

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种远程等离子加工设备；包括机架、安装于机架的清洗装置以及等离子发生装置，等离子发生装置用于生产等离子体并输送至清洗装置内；等离子发生装置包括进气件、第一长点火件、第一短点火件、第二长点火件以及出...

本技术公开了一种适用于不同宽幅集成的高度自动调节装置，包括固定安装板，所述固定安装板设置有两个，两个所述固定安装板之间通过螺丝固定有顶部支撑板，所述顶部支撑板的下方设置有枪头固定板，所述顶部支撑板的一端设置有驱动枪头固定板升降的自动驱动...

本发明公开了一种基于远程等离子源的EMI滤波器，属于远程等离子源技术领域。本发明能够提高单项与多相EMI滤波器的性能，高效地吸收和转换电磁干扰能量，显著降低电磁干扰的影响，根据电路的形式分为：三相五线与三相四线，包括：滤波电感，包括L1...

本发明提出了一种微型自动便携式接触角测试仪器，属于接触角检测技术领域。所述微型自动便携式接触角测试仪器，包括壳体、设置在壳体内部的成像采集结构、储液罐、注射结构、LED光源，所述壳体的四个边角均设置有能够升降的滚轮，所述滚轮位于最低位置...

本技术公开了一种真空密封旋转升降传输装置，包括腔体底板，所述腔体底板的上方空间设置为传输腔，所述腔体底板的下方空间设置为过渡腔，所述腔体底板的上表面通过螺丝固定有支架，所述支架的一侧设置有升降板以及驱动升降板升降的升降结构，所述升降板的...

本发明涉及片材除尘技术领域，尤其是涉及一种智能超声波除尘设备及片材双面除尘方法。与现有技术相比，通过设置的第一输送装置以及第二输送装置，该第一输送装置以及第二输送装置均采用吸附式将片材进行移送；且第一输送装置与第二输送装置之间存在重叠设...