东安开发股份有限公司专利技术

东安开发股份有限公司共有7项专利

  • 一种清洁体结构,包括载体以及清洁单元所构成,该清洁单元由数个清洁豆分别定位排列于该载体的表面上,该些清洁豆为梯形柱状体,具有一个与该载体表面平行的第一端面、及二个面向该载体圆周方向并间隔在二清洁豆之间的倾斜平面,该清洁豆的第一端面与该载...
  • 一种组装式海绵刷,其包括一不吸水的塑性材质的载体、数个发泡材质且嵌设于该载体的每一沟槽中的海绵条、二对应套设于该载体且分别结合于其两端底座上的圆环形固定件、以及一包含数个触面海绵与数个喷嘴分别混合设于各该海绵条模孔上的清洁单元所构成。藉...
  • 一种海绵清洁前处理装置,包括晶圆夹持机构、晶圆驱动机构、海绵清洁机构、喷洒机构、加压调节机构以及控制机构。藉此,通过模拟客户机台生产环境的晶圆转速、清洗液流量、海绵刷转速与转动方向、海绵刷与晶圆之间的间距、以及海绵刷与晶圆之间的下压力(...
  • 一种清洁刷具结构,包含载体;以及双向螺旋式清洁单元,由数个清洁豆分别以双向螺旋形式定位排列于该载体的表面上,以及沿一基线以不等间距排列于该载体中心上,形成数条由该载体的中心向两端外侧以不同方向螺旋盘绕的双向螺旋形,而该些清洁豆形成围绕该...
  • 一种清洁刷结构,包含一载体;以及一清洁单元,由数个清洁豆分别以螺旋形式定位排列于该载体的表面上,形成一条由该载体的一端至另一端螺旋盘绕的螺旋形,而该些清洁豆形成围绕该载体沿周向延伸的一环形螺旋曲线通道。藉此,本创作利用由数个清洁豆分别以...
  • 一种清洁杆体结构,其包含一外侧面上设有数个凸点的杆体;一绕设于杆体外侧面上且与各凸点结合的网状载体;以及一套设于杆体外侧面上的清洁单元,而以各凸点及网状载体使清洁单元与杆体紧密结合。藉此,可利用凸点增加网状载体绕设于杆体时的强度,以提升...
  • 一种清洁结构,包含一载体;以及数个分别设于载体表面上的清洁单元,而各清洁单元的端面分别具有一凹弧部,且各凹弧部的曲率介于70%~99%之间。藉此,可配合相关的致动机构运用于精密电子组件的表面清洁,使各清洁单元利用其端面凹弧部,而达到接触...
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