本实用新型提供了一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，包括第一直线电机、第一导轨、第一光栅尺、工作台本体和平板，所述第一导轨设于所述平板上，所述第一直线电机驱动所述工作台本体沿所述第一导轨移动，所述第一光栅尺设于所述平板上，所述第一...

本实用新型提供了一种DDR马达模组构成的承片旋转台装置，包括旋转台本体和驱动机构，所述旋转台本体包括吸片盘，所述吸片盘上设有安置晶圆的上表面和下表面，所述驱动机构与所述吸片盘的下表面连接，所述驱动机构旋转驱动所述吸片盘，所述驱动机构为直...