本文描述了一种用于涂覆一个或多个工件的化学气相沉积系统。所述沉积系统包括多个处理腔室，所述多个处理腔室可以独立地操作以增加所述沉积系统的产量。每个腔室包括一模块化固定装置(fixture)，所述模块化固定装置配置用以将所述多个工件保持在...