本实用新型公开了一种用于检测特气设备安全性的装置，包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器和控制器均设置在柜体内。本实用新型能够提...

本实用新型公开了一种手控装置及应用该种手控装置的特气柜，所述手控装置包括壳体、设置在壳体外侧面的手控阀和压力指示器、以及设置在壳体内的逻辑阀，所述手控阀的进气口连接有用于与气源相连的进气管，手控阀的出气口通过控制气管分别与逻辑阀的第一进...

本实用新型公开了一种水氧颗粒分析检测系统，包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新型能够提高整套系...

本实用新型公开了一种穿板接头辅助安装装置，包括物料槽、固定在所述物料槽上的导轨和第一卡板、设置在导轨上的滑块以及固定在滑块上的第二卡板，所述第一卡板和第二卡板上均开设有用于卡住柜顶盖板的卡槽。本实用新型结构简单、使用方便，可以大大降低安...

本实用新型公开了一种水氧颗粒自动分析系统，包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种用于TMA缓冲装置的柜体，其特征在于，包括：主柜体，用于容纳储罐与管路系统及固定走线；电控壳体，可拆分式的安装于所述主柜体的顶面的局部，其内用于设置电控系统；且主柜体与电控壳体之间的安装面...

本实用新型公开了一种水氧颗粒分析检测柜，包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新型能够同时连接多个特气设备，测试过程中无需将测试仪器与某一特气设备拆除，...

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体地说是一种新型埋入式气柜，其特征在于，包括：上方开口的柜体，所述柜体的对称的两侧壁上分别设有沿水平方向均布的若干通孔，每个通孔中分别设有一个穿板管夹；真空接头，安装在柜体底板的下部；用于安装气柜组件...

本实用新型涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱，其在箱体内设载气管路；液态源管路；真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端；混合输出分配管路，一端为混合气...

本实用新型公开了一种大流量液态源供应装置，包括TMA源罐、TMA供应箱、推送吹扫气架、TMA供应箱和TMA源罐。本实用新型方便大包装源瓶的就位固定，方便操作；同时也适合于后续更大容量包装的源瓶接入系统使用；使用大容量包装的源瓶，大大减少...

本实用新型公开了一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴。本实用新型使产生的SiO2白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，...

本实用新型涉及化工供液系统技术领域，具体地说是一种新型气液分离器，包括进液管、分离管、设在分离管两端的端帽、设在分离管外侧壁上的液位管、设在进液管上的进液口、设在分离管上的出液口、设在端帽的侧壁上的出气口，其特征在于，所述分离管采用分段...

本实用新型公开了一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体、流通池上盖、浓度计探头、O‑ring密封圈、外六角螺栓和入珠接头，流通池罐体上方舍友流通池上盖，流通池中间设有浓度计探头，流通池罐体与上盖之间设有O‑ring密封圈，流通池罐体上设...

一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，涉及液态源供应设备领域，包括源罐A、源罐B、推送气体支路、工艺支路，推送气体支路包括进气总管及第一进气支管、第二进气支管，第一、二进气支管的出口端对应连接在源罐A、源罐B的气相接口阀上；进气总管上...

本发明公开了一种水氧颗粒自动分析系统及其分析方法，所述水氧颗粒自动分析系统包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐...

本发明公开了一种水氧颗粒分析检测系统及其检测方法，所述水氧颗粒分析检测系统包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在...

本发明涉及一种用于装配阀门和阀门支架的工装夹具，机械制造领域。一种用于装配阀门和阀门支架的工装夹具，包括基座、挡块和垫板；基座由水平的底板和与该底板的后边沿垂直相连的立板组成，立板的顶部往前凸伸出水平的平台，平台与立板顶部齐平，其右半部...

本实用新型涉及特种气体装置技术领域，具体地说是一种防误拆钢瓶接口的保护装置，其特征在于，包括：保护罩，用于挡设在待保护钢瓶接口的外围侧；驱动机构，所述驱动机构的工作端与保护罩连接，驱动保护罩在待保护钢瓶接口的外侧上下直线运动，挡住待保护...

本实用新型涉及分流箱技术领域，具体地说是一种改进的分流箱及其安装结构，包括箱壳、盖合在箱壳的开口上的箱盖、泄漏传感器、进液口、若干出液口、阀门气管进口、排废口、抽风口，其特征在于：所述的箱盖的边缘凸出于箱壳的开口处的边缘，在凸出于箱壳的...

本实用新型提供一种托盘，包括：一托盘本体和一行进装置，所述托盘本体形成复数个相互平行的货叉通槽，所述行进装置固定于所述托盘本体的底部。本实用新型的一种托盘，叉车的货叉能够通过货叉通槽直接叉起托盘上装载的特气柜，不再需要人工辅助搬运，具有...