通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供...

一种在三个维度上校正激光微加工系统（２０）的方法，其包含：扫描（７０）样本工件（２２）以决定３Ｄ表面；按一系列步骤计算出（７２、７４、７６、７８、８０、８２）对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存（８４）此结果，因而可对后续工件进行校正...

采用激光系统（５０）中的一种二极管注入泵式固态激光器（５２）来提供紫外波的高斯输出（５４），该输出经一光学衍射组件（９０）转换成照度轮廓一致的成形输出（９４）。高比例的成形输出（９４）经聚焦穿过掩膜（９８）的孔眼以提供成像成形输出（１１...

本发明的可转换波长的激光器（１０）是一种基于固态激光源（１２），在固态激光源（１２）中，第四谐波ＵＶ激光光束（２６）通常被用作加工，而第二皆波“绿光”激光光束（２６）被沉积并被浪费。然而，本发明使用这个通常被浪费的绿光激光光束来加工ＥＣ...

一种用于对处于芯片固定空腔（１３）中的微电子芯片（２）精确定位以进行外观测试的设备（１２）。该芯片具有至少一前壁（５）和一对相对且隔开的侧壁（６，７），其中该前壁（５）与每个侧壁（６，７）相交，以形成相对且隔开的第一和第二前棱（８，９）...

一种如ＰＭＮ调节的反射镜这样的快速偏转反射镜（３０），其设置在基于工作台的定位系统（４０）的光束路径（１８）中，用于以高速预定的图形绕标称目标位置（６０）移动激光光束（４６），以便从空间上分散开以高激光重复率产生的聚焦激光光斑（４８）且...

一种在弹性遮罩中形成狭槽的方法，其中在一个具有一个薄的弹性遮罩的小型元件载体中，多个狭槽被形成穿过该弹性遮罩，每个狭槽的标称尺寸以及形状可以适于容置并且保持一个小型元件，该方法包括以下步骤：　　　　提供一个薄弹性材料制成的支撑坯体，该弹...

在一个主振荡器功率放大器中，特别地控制一个二极管激光器（２０８）的驱动器（２０２）以产生一组两个或更多的注入式激光脉冲，其在一个不饱和状态中注入到一个功率放大器（２０４）以产生一组（５０）激光脉冲（５２），其复制了注入式激光脉冲的时域功...

激光脉冲能量调整是受对这样的影响的理解驱动的，即对不同激光器中激光脉冲宽度变化对满足与激光加工靶关联的质量衡量的影响。在优选实施例中，调整标准化靶样品中不同激光钻孔中脉冲宽度变化的影响。基于应用到孔位置的脉冲能量，传输到靶样品从而形成每...

Ｑ—转换固态激光器系统（２４）运行在脉冲加工控制系统（１０）中，其采用自动脉冲模式和定位脉冲模式从而使发送到由Ｘ—Ｙ轴定位器（１８）移动的工件（２０）上的、脉冲到脉冲的激光能量非常稳定。在自动脉冲模式下，激光脉冲在接近最大ＰＲＦ处发出，...

一种超短激光脉冲运用非热性的方式来切断传导链路（２２），并提供较宽的处理窗口，消除不需要的ＨＡＺ效应，并实现较好的切断链路品质。脉冲串的时间区间最好为１０ｎｓ至５００ｎｓ范围，而脉冲串中的各激光脉冲的脉冲宽度一般短于２５ｐｓ、最好短于或...

一组（５０）激光脉冲（５２）被用来切断存储器或其它集成电路芯片中的导电连接线（２２）。该组（５０）的周期优选短于５００ｎｓ；且该组（５０）中的每个激光脉冲（５２）的脉冲宽度优选在约０．１ｐｓ至３０ｎｓ的范围之内。该组（５０）可被传统激光...

一种降低工作激光输出的负载变化与不希望有的失真的方法，其实施于基于激光的系统中；该基于激光的系统产生脉冲激光发射并包括外腔光学调制器，用以根据控制指令，提供输出发射状态及输出阻隔状态；所述输出发射状态让激光输出能够以工作激光输出的形式传...

本发明提供一种用于激光切断集成电路ＩＣ中导电性链路的方法和激光器系统，所述方法包括：提供代表一个或多个导电性链路的位置的定位数据；产生至少两个激光脉冲，所述激光脉冲包括第一激光脉冲和第二激光脉冲，所述第一和第二激光脉冲中的每一个在所述集...

一种固态激光器（１０ａ），其具有激光谐振腔（２０ａ），激光谐振腔（２０ａ）在两端具有输出端（２２ａ１，２２ｂ１），以提供两个独立的激光微加工光束（４２ａ１，４２ｂ１）。一组波长转换器（２６ａ１，２６ｂ１）可以被用来将所述激光微细加工（ｍ...

通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器（１２６）用激光脉冲（１９２）处理工件（１２０），激光脉冲（１９２）是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲（１９４）是被阻止到达工件的激光脉冲。提供...

诸如非线性晶体的波长转换器（３４）具有斜切的出射表面（３６），以从基波波长或不同谐波波长分离谐波波长。固态光学盖层媒质（２８）具有入射表面（３８），其被斜切成与变换器出射表面相配。光学盖层媒质（２８）对基波波长和被选谐波波长基本上是透明...

多个具有不同设计配置的次谐振器（１２、１４）共用共同的谐振器部分（１８），使得产生激光的动作能够大致上同步以提供相干激光脉冲，该相干激光脉冲合并由次谐振器（１２、１４）的配置所赋予的不同的各自的脉冲能量廓形和／或脉冲宽度特性。次谐振器（...

本发明提供了一种用各自定向的激光脉冲（７４，９４）从多个靶位置（１５０）照射在一个或更多集成电路（ＩＣ）芯片上的抗蚀剂材料的方法和系统。在一个实施例中，一片ＩＣ（１２）包括一个或更多刻蚀靶（１０４，１０６）如导电接点（７２，９２），并覆...

紫外（ＵＶ）激光输出利用了材料的光吸收特性，由此，导电链路（４２）、下边的半导体基片（５０）、钝化层（４８和５４）在高效地除去链路（４２）时基片（５０）不受损坏。ＵＶ激光输出因为其波长短，所以形成比传统ＩＲ激光链路熔断更小的点直径（５８...