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大连榕树光学有限公司专利技术
大连榕树光学有限公司共有41项专利
一种使用激光干涉反馈的超长金属带式光栅尺刻划系统技术方案
本发明公开了一种使用激光干涉反馈的超长金属带式光栅尺刻划系统,主要包括:为金属带覆膜的覆膜单元,使用激光在覆膜金属带预设位置刻划掉覆膜的激光蚀刻单元以及通过化学/电化学手段腐蚀掉覆膜金属带中被激光刻划掉覆膜位置的金属,最终形成光栅尺的金...
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