本技术属于驱动领域，具体涉及一种喷淋臂驱动装置，包括：支撑板，所述支撑板上设置有升降部与转动部；升降部包括升降杆和升降板；升降杆滑动设置在支撑板上，升降板固定设置在升降杆的底部；转动部包括转动设置在支撑板上的转动轴，以及，转动轴的底部插...

本发明公开了一种晶圆清洗装置。本发明通过设置第一混液仓和第三混液仓，第一混液仓与第三混液仓连通，且与第一混液仓和第三混液仓连接的进液管道分别设有第三阀门控制进入第一混液仓和第三混液仓内药液的流量，药液在第一混液仓内混合后，再次进入第三混...

本技术属于卡盘技术领域，具体涉及一种半导体卡盘及支撑PIN，包括：转盘和若干支撑PIN；所述支撑PIN设置在所述转盘的顶面上，并且所述支撑PIN偏心设置；所述支撑PIN适于支撑晶圆；实现了晶圆旋转时只与两个支撑PIN同时接触，这样晶圆的...

本发明公开了一种等离子发射装置、等离子体处理装置。其中等离子发射装置，包括射频电力分配电路和至少一个等离子天线，等离子天线包括至少两个天线部，所述天线部按序排布，使得所述等离子天线呈螺旋状；每个天线部串联一与该天线部一一对应设置的阻抗调...

本技术涉及自动化生产领域，具体涉及一种上下料机构。本技术实施例提供了一种上下料机构，包括：活动板，所述活动板上具有若干放置工位；以及一个放置工位一侧安装有一个校正组件。片篮放置到放置工位后，所述校正组件的活动端顶推片篮，以使片篮摆正。通...

本技术属于晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种自洁净的密闭式开合门，包括：箱体；箱体的顶部设置有进风部，箱体的底部设置有排风部，箱体的一个侧壁设置有开口；箱体的开口端设置有门板组件，门板组件内部中空，并且门板组件与进风部和所述排风部连通；...

本技术涉及一种半导体移载领域，具体涉及一种晶圆翻转装置，包括：翻转底座；转动设置在所述翻转底座上的旋转轴，所述旋转轴上套设有旋转法兰，所述旋转法兰的侧壁一体设置有法兰支板，所述法兰支板上设置有旋转支板，所述旋转支板的底部设置有固定块，所...

本技术属于喷淋臂技术领域，具体涉及一种喷淋臂驱动装置，包括：底座本体，转动设置在所述底座本体的喷淋臂，所述喷淋臂的端部贯穿并伸出所述底座本体；所述底座本体顶部设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴贯穿所述底座本体，以及所述旋转电机的输出轴...

本技术属于升降结构技术领域，具体涉及一种晶圆清洗机升降结构，包括：底座本体；滑动设置在所述底座本体上的若干组升降轴，所述升降轴贯穿所述底座本体，所述升降轴的顶部设置有卡设柱；设置在每组所述升降轴的顶部的环形的罩盖，所述罩盖的底部开设有卡...

本技术涉及半导体工艺设备技术领域，具体涉及一种清洗设备回收系统，包括：回收底座；所述回收底座上设有第一回收机构和第二回收机构；所述第一回收机构包括环状的第一通道和第二通道以及与所述第一通道和所述第二通道连通的第一收集器；所述第二回收机构...

本技术属于供液领域，具体涉及一种供液管，包括：供液管本体，所述供液管本体的一端设置有进水口；所述供液管本体的侧壁设置有若干组出液孔；其中，远离所述进水口的每组所述出液孔的直径依次增大，有益效果：出液孔用于将液体喷出达到精细供液的效果，出...

本技术涉及机械手技术领域，具体涉及一种机械手。本技术实施例提供了一种机械手，包括：限位机构，所述限位机构安装在所述机械手的夹持端；其中刻蚀时，所述机械手随晶圆盒放入刻蚀槽内，以使所述限位机构与晶圆片抵接，以限位晶圆片。在机械手上设计限位...

本技术涉及加热器领域，具体涉及一种去离子水加热器。本技术提供了一种去离子水加热器，包括：预热机构和加热机构；以及所述预热机构与所述加热机构连通。加热时，所述预热机构和所述加热机构依次对水加热。通过预热腔和两个加热腔同时来加热同一种液体，...

本技术涉及半导体干燥设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆干燥槽体装置。本技术提供了一种用于晶圆干燥槽体装置，包括：上干燥槽体，所述上干燥槽体内部中空；以及所述上干燥槽体内部至少设置有一个导向件；其中晶圆适于与所述导向件插接。通过在上干燥槽...

本发明属于晶圆装夹技术领域，具体涉及一种卡盘装置，本装置包括：环形的支撑座，支撑座的顶部转动设置有若干小齿轮，小齿轮的顶部偏心设置有限位柱，支撑座的内部转动设置有大齿轮，大齿轮与小齿轮啮合；大齿轮的下方滑动设置有环形的连接板，连接板上设...

本发明属于晶圆清洗技术领域，具体涉及一种晶圆清洗技术领域，本装置包括：若干上料装置，上料装置内设置有若干层板，层板适于架设未清洗的晶圆本体；中转装置，中转装置滑动设置在上料装置的侧方，中转装置包括中转机械手和中转工作台，中转机械手适于夹...

本实用新型涉及清洗技术领域，具体为一种用于晶圆酸槽清洗的夹持机构及湿法清洗设备，通过驱动部和转动部；所述转动部与所述驱动部连接，所述转动部上设置有晶圆盒；所述晶圆盒适于夹持晶圆；所述驱动部适于驱动所述转动部带动所述晶圆盒转动并晃动；实现...

本发明属于半导体加工清洗技术领域，具体涉及一种伯努利夹盘及使用方法，包括：转动设置的支撑座，所述支撑座的顶部转动设置有若干支撑柱，所述支撑柱的顶部偏心设置有夹持柱，所述支撑柱的侧壁设置有拨动板，所述拨动板上开设有贯穿的拨动缺口；同轴设置...

本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备，通过载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的...

本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种用于晶圆盒的上下料机构及全自动湿法单片晶圆清洗设备，通过平台，和限位组件，所述限位组件设置在所述平台的顶面上，所述限位组件适于在晶圆盒放置在所述平台上时对晶圆盒进行限位；旋转组件，所述旋转组件设置...