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陈幼田专利技术
陈幼田共有1项专利
一种基于CCD的光刻机视像自动对准系统技术方案
本发明公开了一种基于CCD的光刻机视像自动对准系统,包括固定座,所述固定座的顶部设置有移动机构,且移动机构的顶部外壁通过螺栓连接有支撑架,所述支撑架的顶部外壁通过螺栓连接有连接架,且连接架的顶部内壁通过螺栓连接有液压杆,所述液压杆的底部...
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