本实用新型公开了一种半导体外延气体质量流量精密调节装置，包括阀体，所述阀体的内部开设有腔体，所述阀体的端面开设有与腔体连通的气孔，所述气孔与腔体交集的端口边缘为圆弧倒角，所述腔体的内部相对于气孔设置有密封针体；密封针体搭配气孔进行密封，...