成建波专利技术

成建波共有1项专利

  • 真空线源蒸发镀膜方法及其装置,涉及真空镀膜技术。本发明的镀膜方法是由精密加热器、高温导热油和液体金属组成的液体加热系统对蒸发舟加热,使舟内的材料达到蒸发(升华)温度,完成镀膜工艺。该发明的装置是由精密加热器、盛装液体金属的蒸发腔、有凹凸...
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