本实用新型公开了一种新型气囊抛光装置，包括法兰盘，法兰盘底面设有门框形的安装架，安装架内上下依次设有电机和轮式气囊，电机输出轴与轮式气囊一侧之间通过设于安装架外的皮带传动组件连接，轮式气囊另一侧同轴线可转动连通有设于安装架外的进气旋转接...

本实用新型公开了一种全形态测量激光干涉仪，包括壳体，壳体整体呈匚型，壳体上从上至下依次设有反射标准镜组件、测试平台和激光准直镜组件；测试平台用于固定被测元件，其与壳体通过升降装置连接，激光准直镜组件用于向测试平台上的被测元件及反射标准镜...

本实用新型公开了一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为匀...

本发明公开了一种高精度平面度检测装置及检测方法，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶...