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常州强力光电材料有限公司专利技术
常州强力光电材料有限公司共有2项专利
肟磺酸酯类光产酸剂、抗蚀剂组合物、图形化方法及应用技术
本发明提供了一种肟磺酸酯类光产酸剂。肟磺酸酯类光产酸剂具有如下通式(I)。该磺酸酯基与亚胺结构直接相连,该结构具有感光裂解特性,在活性能量射线照射下能够发生N‑O键断裂而产生不同类型的磺酸。上述活性能量射线是近紫外光区域、可见光区域的波...
一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用制造技术
本发明公开一种对波长300
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