一种半导体结构与其制造方法，该半导体结构包含有：一基板、一沟槽以及一穿孔。基板具有一上表面与一下表面；沟槽与穿孔形成于基板的上表面；穿孔的一端具有一圆导角部。半导体结构制造方法包含以下步骤：准备一基板；于该基板上加工一盲孔；于该盲孔的孔...