本公开提供了一种加热器制备方法，包括：将模具置于沉积炉内的旋转支架上，所述模具的沉积面朝上，所述模具外套设有环形的挡气装置，以三氯化硼和氨气为反应气体，以氮气作为载气进行沉积，制得板状的热解氮化硼基板；在所述热解氮化硼基板上制作导电图案...

本公开提供了一种气相沉积用模具及热解氮化硼板材的制备方法，气相沉积用模具包括：第一表面，其为沉积面；第二表面，其与所述第一表面相对设置，所述第二表面的面积小于所述第一表面的面积；侧面，其连接所述第一表面和所述第二表面，所述侧面与所述第一...