一种抗冲击的分子泵转子，包括转子主体，所述转子主体的四周设置有多层叶片，所述转子主体的下端中心处设置有转轴安装孔，所述转子主体的上端设置有一个比转轴安装孔宽的开放的腔体，所述腔体的底部与所述转轴安装孔连通，所述腔体的轴线与所述转轴安装孔...

一种分子泵防护装置，包括基座和固定板；基座为板状，适于放置在平面上；固定板一侧与所述基座可转动地连接，所述固定板的至少一个平面为固定面，所述固定面可与分子泵固定连接，所述固定板可带动所述分子泵在所述基座上进行转动。本实用新型提供的分子泵...

一种挡板机构，包括控制装置、挡板和传动装置，所述控制装置设置于腔体上，且控制端设置于所述腔体的外部；所述挡板设置于所述腔体的内部，适于遮挡/打开所述腔体的观察窗；所述传动装置，联接与所述控制装置和所述挡板之间；所述传动装置受所述控制装置...

本发明公开一种磁轴承功率放大器用H桥驱动电路的保护系统及方法，该方法实时检测H桥驱动芯片高端自举电容两端工作电压UC，并将所述工作电压UC与保证H桥驱动芯片正常工作的高端电压阈值UT进行比较。当UC＜UT时，令H桥桥路的第一功放管VT1...

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频...

本发明提供一种径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统，所述位移传感器包括检测单元和调整单元，所述调整单元用于根据不同磁悬浮分子泵的零件加工和装配精度差异，调整径向位移传感器输出信号的电压幅值。本发明提供的磁悬浮分子泵的转子径...

本发明涉及一种永磁电机驱动的磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法，利用消除永磁电机转子磁钢磁场的测试转子，通过调整测试转子悬浮中心保证磁轴承各磁极电流均衡的方法获取磁悬浮分子泵转子的悬浮中心。该测试转子消除了永磁电机转子磁钢磁偏拉力的影响...

本发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法，通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位，并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步，...

本发明公开了一种获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法，首先将磁悬浮分子泵竖直放置，控制所述转子静态悬浮后，通过调整所述转子的径向悬浮位置，保证第一径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流均相等，获得所述转子的第一径向悬浮中心，同理获得转...

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力控制不平衡振动控制模块能抑制转子...

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力自由不平衡振动控制模块能抑制转子...

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启不平衡振动控制模块，如果在不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子...

一种磁悬浮分子泵降速过程中的平稳控制方法，所述磁悬浮分子泵中设置有切换转速ω0。在所述磁悬浮分子泵停机降速的过程中，当转子转速达到ω0+v时，通过不平衡控制算法计算得出转子同频振动信号为此时将所述不平衡控制算法输出的补偿信号设置为k为比...

本发明涉及一种磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法，该方法利用磁悬浮分子泵控制器控制磁悬浮分子泵转子转到较高的预设转速，然后再根据此时磁轴承各个磁极电流是否相等来调整和确定合适的转子悬浮中心，并将获得的转子悬浮中心位置记录到存储介质中；藉...

本发明公开一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，分别以径向磁轴承定子内圆中心和径向位移传感器定子内圆中心为原点建立径向磁轴承坐标系和径向位移传感器坐标系。通过获得在径向磁轴承坐标系下所述径向保护轴承定子内圆中心坐标，得到所述径向磁...

本发明公开一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，分别以径向磁轴承定子内圆中心和径向位移传感器定子内圆中心为原点建立径向磁轴承坐标系和径向位移传感器坐标系。通过获得在径向磁轴承坐标系下所述径向保护轴承定子内圆中心坐标，得到所述径向磁...

一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引...

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频...

一种磁悬浮分子泵升速过程中的平稳控制方法，为使不平衡振动控制算法平稳启动，预先获取切换转速ω0对应的转子同频振动信号幅值A0和相位当所述转子转速接近切换转速ω0时，渐进开启不平衡控制算法。当所述转子转速到达ω0后，以所述幅值A0和相位作...

一种磁悬浮分子泵的转子章动峰振动控制方法，磁悬浮分子泵转子升速时，磁悬浮分子泵控制器控制转子位移检测装置采集转子位移信号，将所述位移信号经过快速傅里叶变换得到转子振动频谱。根据获得的所述转子振动频谱得到转子章动峰的频率和幅值，判断其幅值...