本技术提供了一种位移传感器，属于测量设备技术领域，包括：电涡流线圈、传感器本体和传感器外壳，其中电涡流线圈具有固定的匝数和参数；传感器本体内部设置有容纳空间；所述传感器本体的第一端设置有开口；所述传感器本体的第二端适于所述电涡流线圈套设...

本技术提供了一种辅助磁悬浮分子泵的涡轮组件装在平衡机上的工具，工具包括工装轴及连接构件，其中工装轴包括：彼此相对的第一端部和第二端部，第一端部和第二端部分别用于安装在平衡机的第一支撑部和第二支撑部；位于第一端部和第二端部之间的安装部，其...

本申请公开了一种用于磁悬浮分子泵的旋转组件及磁悬浮分子泵，所述旋转组件包括同轴设置且固定连接的主轴和推力盘；所述主轴的端部设有沿其轴向向外凸出且为多边形的凸起；所述推力盘的中心处设有多边形的插孔，所述推力盘通过所述插孔匹配套设在所述凸起...

本技术公开了一种扇形齿轮及摆阀，所述扇形齿轮，包括：齿轮本体，所述齿轮本体为扇形状，所述齿轮本体的弧形边缘上设置有若干啮合齿，远离啮合齿的所述齿轮本体上开设有轴孔；定位键，所述定位键设置在齿轮本体上，所述定位键分设为尺寸不同的第一定位键...

本技术提供了一种磁悬浮分子泵用的控制模块及悬浮分子泵，该控制模块包括功率板、控制板以及设在功率板和控制板之间且将二者连接的多个连接柱，其中，在控制板上设有至少一个应力释放孔，至少一个应力释放孔独立且部分地环绕对应的选定对象，且选定对象是...

本技术公开了一种将T型针安装在功率板上的工装，功率板上具有用于安装T型针的安装孔。将T型针安装在功率板上的工装包括：固定板，其具有定位孔，定位孔与所述功率板上的安装孔的位置相对应；其中，在将所述T型针安装在所述功率板上时，将所述T型针的...

本技术公开了一种静片、静片结构及分子泵，静片包括内圈和外圈，内圈和外圈之间设置有若干静片叶齿；内圈、外圈和静片叶齿的表面包覆有耐腐蚀镀层。本技术在静片的表面进行了镀层处理，通过耐腐蚀镀层可降低腐蚀气体对静片的腐蚀状况，提高了静片的耐化学...

本技术涉及分子泵技术领域，公开了一种温度调节装置，温度调节装置包括外壳、加热结构、散热组件和温度控制组件。外壳开设有安装槽，安装槽适于安装分子泵；加热结构设置于安装槽的槽壁上；散热组件与外壳连接，散热组件对应安装槽设置；温度控制组件与外...

本技术公开了一种冲压静片结构及分子泵，所述冲压静片结构包括：第一静片，具有若干第一静片叶齿；第二静片，具有若干第二静片叶齿，第二静片叶齿插入至相邻两第一静片叶齿之间并与第一静片叶齿交错间隔布置；第二静片和第一静片通过同一冲压模具进行冲压...

本申请公开了一种磁悬浮分子泵的控制器，包括：散热壳体，其具有容纳腔；控制模块，其置于容纳腔内，且用于控制磁悬浮分子泵；电源模块，其置于容纳腔内，并与控制模块相连，以用于向控制模块提供工作电源；吸热隔板，其固定设在散热壳体上并在容纳腔内将...

本发明公开了一种控压阀的阀门控制参数的确定方法及其相关产品。其中所述控压阀为半导体刻蚀设备工艺腔的压力控制阀，确定方法包括：在通过当前待确定的阀门控制参数控制控压阀时，在多种刻蚀工艺条件中的任一种刻蚀工艺条件下，获取在预设时间段内以周期...

本技术涉及设备冷却降温技术领域，具体涉及一种泵体冷却结构、泵体冷却系统及分子泵，泵体冷却结构包括：多个冷却通道，设置于泵体的内部；所述多个冷却通道互相连通设置；在所述多个冷却通道内流通有冷却介质；本申请采用上述技术方案，通过将冷却通道设...

本申请公开了一种用于磁悬浮分子泵控制器印制板焊接的辅助装置，所述辅助装置包括其可拆卸设于所述印制板上的板体，所述板体包括焊接区域；所述焊接区域包括：多个焊接定位孔，其设于所述板体上并用于供焊接材料穿过；以及操作开口，其开口面积及位置被设...

本实施例提供了一种位移传感器及制作方法，属于测量设备技术领域，一种位移传感器，包括：电涡流线圈、传感器本体和传感器外壳，其中电涡流线圈具有固定的匝数和参数；传感器本体内部设置有容纳空间；所述传感器本体的第一端设置有开口；所述传感器本体的...

本技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种轴承散热结构及具有其的真空泵。一种轴承散热结构，包括：弹性散热环，套设在轴承外周，所述弹性散热环为导热材质，且所述弹性散热环在受到外力作用时发生形变，以与所述轴承紧密接触。本技术提供一种可提高轴承工...

本技术涉及设备安装技术领域，具体涉及一种连接和支撑结构。所述连接和支撑结构包括：泵体；控制器外壳，具有开口部，开口部遮盖有控制器盖板；连接件，与控制器盖板固定连接，并朝向泵体一侧延伸；泵体朝向控制器盖板延伸形成有固定凸边，沿平行于控制器...

本发明涉及散热系统技术领域，公开了一种集成式自循环冷却系统，集成式自循环冷却系统包括：进液管；驱动装置；分流装置，具有第一入口与多个第一出口；进液管与第一入口接通；分流装置将高温介质分流；汇流装置，具有第二出口与多个第二入口；多个第二入...

本技术公开一种分子泵机组，包括：机组底座、分子泵、连接管路和吊耳；所述前级负压件设于所述机组底座上；所述分子泵设于所述机组底座上所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件；所述吊耳设于所述机组底座...

本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种干泵。一种干泵，包括：壳体组件，设有内部腔室，侧壁设有进气口，壳体组件包括低真空侧壳体；复合叶轮，设于内部腔室内，复合叶轮设有涡轮级，涡轮级以吸入自进气口进入的气体；主轴，设于内部腔室内，主轴...

本发明涉及旋转机械技术领域，具体涉及一种干式真空泵，包括：进口牵引级设有直接连通的气体进口和进气诱导轮，气体进口轴线与进气诱导轮轴线重合；中间牵引级与进口牵引级连通；中间牵引级设置于牵引级泵体内；旋涡级与中间牵引级连通；在旋涡级设有设有...