本申请公开了一种分子泵，其包括：壳组，具有出气口的底座及扣设在底座上且具有进气口的壳体；涡轮部件，可转动地设在底座与壳体之间，并包括叶片部、与叶片部同轴连接的延伸部、与叶片部和延伸部的相交处连接的折弯部，以及形成在折弯部与延伸部之间的环...

本申请公开了一种分子泵叶轮转子碎裂测试用的实验装置，其包括：承载单元，其用于承载分子泵；真空单元，其包括与所述分子泵连通且提前于所述分子泵启动的前级泵；控制单元，其与所述分子泵控制器连接，且用于控制所述分子泵的运行与停止；发射单元，其与...

本申请公开了一种用于分子泵叶轮的缺陷检测方法，其包括如下步骤：检测步骤，通过测距组件检测叶片部的外径所在圆、叶片组的内径所在圆、牵引部的外圆、叶片部的端面、第一端面和/或牵引部的第二端面在分子泵叶轮处于不同转角下的形位公差，并基于形位公...

本技术涉及分子泵技术领域，具体涉及一种位移传感器固定装置、磁轴承定子以及磁悬浮分子泵。包括：固定骨架，为环形，所述固定骨架的一侧面上设置有与固定骨架同心的顶紧环；固定组件，为四组，位移传感器与所述固定组件一一对应，四组固定组件以固定骨架...

本发明提供了一种步进电机矢量驱动电路、方法、电子设备和蝶阀，涉及蝶阀控制的技术领域，所述驱动电路用于对步进电机进行控制，步进电机用于驱动蝶阀中阀门的动作；所述步进电机内设有至少两个线圈，所述步进电机矢量驱动电路包括：至少两个电压控制模块...

本申请公开了一种用于测头模块的调节装置，其包括：基座；固定机构，其设在所述基座上并用于安装和固定所述测头模块的转接板；调节机构，其包括设在所述基座上的第一支撑件，以及与所述转接板平行的转动盘；其中，所述转动盘被能够被操控而在所述第一支撑...

本发明提供了一种半导体用压力控制装置故障检测方法及相关产品，涉及故障检测的技术领域，所述方法包括响应于第一故障检测指令，获取第一故障检测数据，并基于所述第一故障检测数据确定半导体用压力控制装置是否存在故障，若所述半导体用压力控制装置不存...

本技术公开了一种用于刻蚀设备的压力控制组件及刻蚀设备，所述压力控制组件包括阀门，其包括阀体及位于阀体内的阀芯；齿轮组件，其包括与所述阀芯相连的转轴、与所述转轴相连的从动齿轮、以及与所述从动齿轮啮合的主动齿轮，转动源，其与所述主动齿轮连接...

本申请公开了一种用于负压环境的止回阀。止回阀包括阀体、阀芯组件以及隔膜组件。当阀体的进气段的气压减去阀体的出气段的气压的差值超出设定阈值时，隔膜组件能在进入进气段的气体的帮助下，克服来自复位弹簧的阻力及来自出气段内气体的阻力，并推动阀芯...

本技术涉及分子泵技术领域，具体涉及一种具有强化牵引筒结构的磁悬浮分子泵。包括：定子，侧壁上设置有外螺旋槽，所述外螺旋槽的中心轴与定子的中心轴重合；转子，可转动的插设在所述定子中，所述转子的中心轴与定子的中心轴重合。碳纤维层具有高强度、耐...

本申请公开了一种真空阀门的部件配对装置，其包括平台、第一定位机构、第二定位机构、弹性组件以及测量机构。第一定位机构设在平台上且用于安装转动源。第二定位机构可滑动地设在平台上且用于安装从动齿轮。弹性组件能保证第一定位机构和第二定位机构之间...

本申请公开了一种用于配合线路板焊接的工具，包括第一定位组件以及第二定位组件。第一定位组件用于承载线路板的线路板本体并具有焊接避让区域。第二定位组件可释放或可拆卸地连接至第一定位组件，并用于将线路板的立式连接器和/或卧式连接器暂时固定在线...

本申请公开了一种用于蝶阀的工装工具，蝶阀包括具有转轴且已被调零的电动马达、固定设在电动马达上且具有通道的阀体、可转动地设在阀体内且部分置于通道内的阀杆、设于通道内并固定在阀杆上的阀板，工装工具包括：基座；托台结构；校准组件，其设在基座上...

本技术涉及动力设备技术领域，公开了一种冷却结构和真空泵，适用于泵体，包括至少一个冷却管路，冷却管路设置在泵体内，冷却管路包括：管路主体，在同一平面内呈螺旋设置；第一端管，其一端与管路主体的外侧端连通，其另一端设有第一端头；第二端管，其一...

本申请公开了一种检测轴类零件用的工装装置及方法，工装装置包括：基座；固定顶尖组件，其固定设置在基座上，用于与轴类零件的第一端部相抵接；活动顶尖组件，其设置在基座上并沿着基座的纵向与固定顶尖组件间隔开，以选择抵接或脱离于轴类零件的第二端部...

本技术提供了一种位移传感器，属于测量设备技术领域，包括：电涡流线圈、传感器本体和传感器外壳，其中电涡流线圈具有固定的匝数和参数；传感器本体内部设置有容纳空间；所述传感器本体的第一端设置有开口；所述传感器本体的第二端适于所述电涡流线圈套设...

本技术提供了一种辅助磁悬浮分子泵的涡轮组件装在平衡机上的工具，工具包括工装轴及连接构件，其中工装轴包括：彼此相对的第一端部和第二端部，第一端部和第二端部分别用于安装在平衡机的第一支撑部和第二支撑部；位于第一端部和第二端部之间的安装部，其...

本申请公开了一种用于磁悬浮分子泵的旋转组件及磁悬浮分子泵，所述旋转组件包括同轴设置且固定连接的主轴和推力盘；所述主轴的端部设有沿其轴向向外凸出且为多边形的凸起；所述推力盘的中心处设有多边形的插孔，所述推力盘通过所述插孔匹配套设在所述凸起...

本技术公开了一种扇形齿轮及摆阀，所述扇形齿轮，包括：齿轮本体，所述齿轮本体为扇形状，所述齿轮本体的弧形边缘上设置有若干啮合齿，远离啮合齿的所述齿轮本体上开设有轴孔；定位键，所述定位键设置在齿轮本体上，所述定位键分设为尺寸不同的第一定位键...

本技术提供了一种磁悬浮分子泵用的控制模块及悬浮分子泵，该控制模块包括功率板、控制板以及设在功率板和控制板之间且将二者连接的多个连接柱，其中，在控制板上设有至少一个应力释放孔，至少一个应力释放孔独立且部分地环绕对应的选定对象，且选定对象是...