本发明涉及光学计量设备技术领域，并公开了一种用于检测晶圆几何形貌的检测设备，包括支撑架，支撑架顶端设置有环形导轨；检测镜头，环形导轨内侧开设有用于检测镜头滑动的槽道，检测镜头以槽道为轨迹滑动可对晶圆不同角度进行测量，减少盲区光学干涉；环...

本技术公开了一种切面抛光设备，包括底板，所述底板的顶部设置有两组滑槽，两组所述滑槽的内侧滑动有工作台，所述底板一侧的侧壁上固定有气缸二，所述气缸二的输出端与所述工作台的侧壁连接，两组所述滑槽中间的底板顶壁上开设有滑轨，所述工作台包括与所...

本实用新型公开了一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有...

本实用新型公开了一种晶圆强度测试机，包括底座、晶圆放置座、晶圆固定组件、移动组件、支架、位置调节组件、固定架、气缸、安装座和晶圆强度检测探针，所述移动组件设于底座上，所述晶圆放置座设于移动组件上，所述晶圆固定组件设于晶圆放置座上，所述支...

本实用新型公开了一种石英晶片分选机的输送工具，包括机箱，所述机箱一侧固定连接有箱盖，所述机箱底部四角处均固定连接有支腿，所述机箱顶部的一侧固定连接有输送箱，所述输送箱顶部固定连接有入料箱，所述输送箱内部对称固定连接有轴承固定座，所述输送...

本实用新型公开了一种用于晶圆厚度的检测装置，包括底板，所述底板顶部的两侧固定连接有侧板，所述侧板的顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶部转动连接有主动链轮和从动链轮，所述主动链轮和从动链轮之间通过传动链条传动连接；通过设置传动链条和检测台...

本实用新型公开了一种晶圆高精密厚度研磨在线控制设备，包括研磨装置本体、密封门、丝杆、初始画面、加工压力待机画面、虚拟研磨和设备调整，所述虚拟研磨的输出端和晶体厚度设定的输入端相互连接，所述晶体厚度设定的输出端和控制器模块的输入端相互连接...

本实用新型公开了一种晶圆厚度激光全自动测试机，包括机器上电模块、上外箱、下外箱和高精度平台，所述上外箱固定连接在所述下外箱的上端，所述上外箱内部底端设置有工作台，所述工作台表面分别设置有所述高精度平台和激光发射器，所述高精度平台表面上端...

本实用新型公开了一种晶圆平面度手动测试仪，包括工控机、激光干涉仪、电器启动模块和参数设置模块，激光干涉仪一侧表面分别设置有负压开关和输气管，所述激光干涉仪靠近所述负压开关的一侧表面固定连接有手动上下料装置，所述手动上下料装置内部通过转动...

本实用新型公开了一种晶圆高精度非接触式激光厚度测量仪，包括检测仪主体，所述检测仪主体的顶端固定连接有底板，所述底板的顶端固定连接有固定螺丝，所述固定螺丝通过侧板固定连接于支架的外侧；通过在检测仪主体的顶端设置测量架，可将被测量物放置于测...

本实用新型公开了一种晶圆平坦度与厚度测试设备，包括测试箱，所述测试箱内侧设置有固定箱，所述固定箱内侧底部固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端与拉杆固定连接，所述拉杆外侧设置有套筒，所述套筒外侧滑动连接有滑动块，所述套筒外侧固...

本实用新型公开了一种晶圆共聚焦平面度测试仪，包括工作平台、龙门架、测试镜头、丝杆一、防护外壳和清洁板，所述工作平台两侧均设置有支撑腿，所述支撑腿上端固定连接有龙门架，所述支撑腿内部为大理石材质，本实用新型通过设置的丝杆二，能够通过驱动电...

本发明公开了一种晶圆厚度激光全自动测试机，包括机器上电模块、上外箱、下外箱和高精度平台，所述上外箱固定连接在所述下外箱的上端，所述上外箱内部底端设置有工作台，所述工作台表面分别设置有所述高精度平台和激光发射器，所述高精度平台表面上端设置...

本发明公开了一种晶圆高精密厚度研磨在线控制设备，包括研磨装置本体、密封门、丝杆、初始画面、加工压力待机画面、虚拟研磨和设备调整，所述虚拟研磨的输出端和晶体厚度设定的输入端相互连接，所述晶体厚度设定的输出端和控制器模块的输入端相互连接，本...