北京量拓科技有限公司专利技术

北京量拓科技有限公司共有18项专利

  • 本申请公开了一种自动控制的自准直样品对准装置,其包括光学自准望远系统和显微物镜组,所述光学自准望远系统包括光学器件套筒,所述光学器件套筒的底部设置有自动调节装置,所述自动调节装置能够调节显微物镜组的位置,使显微物镜组的光轴与光学器件套筒...
  • 本申请涉及一种快速高精度宽光谱光学波片的检测系统,包括起偏臂、样品台以及检偏臂,整个系统的光轴垂直于地面,待测样品水平放置在样品台上,其中检偏臂上半反半透镜的设置能够实现宽光谱的同时检测。该系统可以操作第一电机和第二电机旋转设定角度以实...
  • 本申请涉及偏振测量系统,尤其是涉及一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统,其技术方案要点是:偏振测量系统包括起偏臂、检偏臂和载物台,还包括支撑架、固定在支撑架上的转轴,以及两个角度调整机构,其中一个角度调整机构用于驱动起偏臂围绕转轴定轴...
  • 本申请涉及一种可实现入射角从90度扫描到小角度的多波段反射系统,其包括承载平台、深紫外近红外出光臂、深紫外近红外检测臂、中红外出光臂、中红外检测臂、样品台、第一旋转台以及第二旋转台,深紫外近红外出光臂固定在承载平台的一端,中红外出光臂固...
  • 本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统,其包括起偏臂、样品台、底部旋转台以及固设在所述底部旋转台上的检偏臂;所述底部旋转台位于所述样品台下方,且所述底部旋转台和样品台同轴设置。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透...
  • 本申请涉及光波偏振态检测领域,尤其是涉及一种高精度光波偏振态检测系统,其技术方案要点是:包括依次设置且光路同轴的可旋转补偿器、偏振棱镜以及探测器,还包括用于支撑偏振棱镜的支撑机构,偏振棱镜能够在支撑机构上转动并能够定位在两个检偏位置上,...
  • 本申请涉及一种小入射角的多波段反射系统及其使用方法,其包括承载平台、深紫外近红外出光臂、深紫外近红外检测臂、中红外出光臂、中红外检测臂、样品台、第一旋转台以及第二旋转台,深紫外近红外出光臂固定在承载平台的一端,中红外出光臂固定在承载平台...
  • 本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法,涉及入射角扫描的技术领域,其包括以下步骤:S1:将样品放置在样品台上;S2:测量,寻找样品的快慢轴;S3:将快轴或慢轴方向旋转到入射面内,将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上,对样...
  • 本申请公开了一种椭偏测量装置,包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构;样品台固定安装在基板上,样品台台面为平面;角度切换机构转动安装在基板上,角度切换机构的转动轴线位于检测面内;检测部件包括起偏臂和检偏臂,起偏臂和检偏臂...
  • 本申请涉及一种曲面样品顶点定位方法、装置和椭偏仪,该方法包括:获取清晰的样品图像;在所述清晰的样品图像上确定基准点,以所述基准点建立三维坐标系;在所述三维坐标系内以第一步长确定多个采集点;在预设波长范围内,采集每个所述采集点处的光强值;...
  • 本申请涉及一种样品台及具有该样品台的椭偏仪,该样品台包括:基台;与所述基台连接的转动驱动机构,用于驱动所述基台在第一方向和第三方向形成的平面,和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动;与所述转动驱动机构连接的线性驱动机构,用于驱动所述转...
  • 本申请公开了一种椭偏测量装置及测量方法,包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构;样品台固定安装在基板上,样品台台面为平面;角度切换机构转动安装在基板上,角度切换机构的转动轴线位于检测面内;检测部件包括起偏臂和检偏臂,起偏...
  • 本实用新型公开了一种基于线偏振光源的高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用,包括:一个线偏振光源101,四分之一波片103、四分之一波片104、安装在中空旋转器105中的线偏振器102。其中,四分之一波片103与线偏振光源101机械固定...
  • 本发明公开了一种基于线偏振光源的高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用,包括:一个线偏振光源101,四分之一波片103、四分之一波片104、安装在中空旋转器105中的线偏振器102。其中,四分之一波片103与线偏振光源101机械固定,其...
  • 本实用新型公开了一种用于椭偏仪中晶体硅太阳电池检测的样品台,包括方位调节台和设置在其上的台面,方位调节台和台面之间还设置有台面连接件,该台面连接件上设置有两个用于承载台面的定位面,该两个定位面之间设置有54.7°±5°的夹角。本实用新型...
  • 本实用新型公开了一种用于椭偏测量系统的样品方位校准的装置,包括光学自准直望远系统和显微物镜组,光学自准直望远系统包括光学器件套筒,在该光学器件套筒的底部固定设置有滑动装置,滑动装置上设置有能够水平移动的显微物镜组,显微物镜组在滑动装置上...
  • 本实用新型公开了一种用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置,包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂,用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂,用于支撑起偏臂和检偏臂的基板,基板上设置有若干个位置...
  • 本发明公开了一种用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置,包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂,用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂,用于支撑起偏臂和检偏臂的基板,其中,基板上设置有若干个位...
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