本发明实施例提供一种晶圆批量传送机构，包括机座、晶圆出盒装置以及晶圆搬运装置，机座上设置有用于供晶圆盒放置的第一放置位置和用于供晶圆放置的第二放置位置；晶圆出盒装置对应第一放置位置设置于机座上，晶圆出盒装置用于自晶圆盒中取出晶圆；晶圆搬...

本实用新型公开了一种纯氧燃烧废气处理装置，包括水箱、反应腔和纯氧燃烧器，所述水箱上安装有溢流桶，所述溢流桶通过C型卡爪连接反应腔，所述反应腔通过C型卡爪连接有炉头，所述炉头上设有多个管道，每个所述管道上均分别连接有三通阀，所述纯氧燃烧器...

本实用新型公开了一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器、手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述过滤器依次连接手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，...

本实用新型公开了一种半导体温控装置制冷系统，包括压缩机、冷凝器、蒸发器和节流组件，所述节流组件包括电磁阀、电子膨胀阀和热力膨胀阀，所述电磁阀连接电子膨胀阀，所述电子膨胀阀连接热力膨胀阀，所述热力膨胀阀连接蒸发器的制冷剂入口，本制冷系统还...

本实用新型公开了一种半导体温控装置系统，包括制冷系统和循环系统，所述制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发器和电子膨胀阀一，所述循环系统包括水箱、水泵、负载设备和预冷器，所述制冷系统和循环系统相连，所述预冷器连接电子膨胀阀二并与蒸发器和电子膨...

本发明涉及温度调节控制领域，提供一种循环液温度调节方法、循环液温度调节控制装置及系统。该方法包括初始化步骤、获取步骤、第一确定步骤、第一计算步骤、PID运算步骤、第二确定步骤和调节步骤，调节步骤：PID输出值介于0~第一PID输出分界值...

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及温控系统及温控方法温控系统，温控系统包括控制器、冷却水回路和循环液回路，冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的热交换器的放热通路和用于...

本发明涉及机械手技术领域，尤其涉及物料定位夹紧装置及翻转机械手，物料定位夹紧装置包括相对设置的定位组件和夹紧组件，定位组件包括定位夹爪、定位驱动件、定位传感件和调节件，夹紧组件包括夹紧夹爪、夹紧驱动件和夹紧传感件；定位夹爪用于固定物料的...

本发明实施例提供一种半导体温控装置的测试方法、装置、电子设备及存储介质，通过确定至少一个测试温度点的预设测试参数；并根据预设测试参数控制半导体温控装置运行，采集测试温度点的实际温度值；生成至少包括实际温度值的测试结果。本发明实施例改变了...

本发明涉及机械手领域，提供了一种机械手组件及其控制方法。该机械手组件包括旋转轴、旋转臂、控制器、驱动件、第一光电传感器和第二光电传感器；旋转轴的侧壁形成有沿其周向延伸的限位挡片，限位挡片上沿逆时针方向依次形成有第一遮挡区、第二遮挡区和第...

本实用新型公开了一种传感器复用的多通道负压检测系统，包括阀岛、负压传感器和废气处理设备，所述阀岛包括气路板和多个电磁阀，所述气路板设有多个通道，所述电磁阀通过螺钉安装在气路板上，所述电磁阀的进气口与气路板的通道的出口连接，所述气路板的通...

本发明实施例公开了一种温度控制装置及方法，所述温度控制装置，包括换热单元、三通阀、水箱和水泵；所述换热单元与所述三通阀的第一出口连接；所述三通阀的第二出口与所述水箱的入口连接，所述水箱的出水口与所述水泵的入口连接；所述三通阀的入口安装有...

本实用新型涉及半导体生产领域，提供供液箱集成加热装置及温控系统。该供液箱集成加热装置包括供液箱、加热器以及设于所述供液箱中的流体限制装置，所述加热器设于所述流体限制装置中，所述流体限制装置上设有与所述供液箱的内腔连通的流体入口，所述流体...

本实用新型涉及半导体温控领域，提供用于半导体生产用温控设备的加热控制系统。该加热控制系统包括循环液箱、加热器、三相固态继电器、可编程控制器、PID模块以及出液温度传感器；所述加热器设于所述循环液箱中，所述加热器与所述三相固态继电器连接，...

本实用新型涉及半导体温控领域，提供用于半导体生产用温控设备的温控系统。温控系统包括循环液箱、加热器、电动三通阀、制冷蒸发器、循环液入口温度传感器、可编程控制器和PID模块；加热器设于循环液箱中并与PID模块连接，PID模块与可编程控制器...

本实用新型涉及温控设备技术领域，提供一种加热器保护系统及温控设备。加热器保护系统包括：流量传感器，连接于制热系统中导热流体流动路径上；控制系统，与流量传感器连接，控制系统包括比较单元，比较单元接收流量传感器的流量信号并与流量预设值比较；...

本实用新型涉及半导体领域，提供晶圆偏移监测装置。晶圆偏移监测装置包括晶圆运送机械手、安装在所述晶圆运送机械手上的多个吸附单元和多个偏移监测传感器，多个所述偏移监测传感器包括一个位于晶圆所在区域内侧的第一偏移监测传感器和分别位于所述第一偏...

本实用新型涉及半导体领域，提供晶圆寻心偏移监测装置。晶圆寻心偏移监测装置包括晶圆运送机械手、安装在所述晶圆运送机械手上的由多个寻心传感器组成的寻心传感器组和分设于所述寻心传感器组外两侧的偏移监测传感器，所述寻心传感器包括光接收部和反光部...

本实用新型涉及半导体附属设备领域，提供晶圆映射传感器的安装机构。该安装机构包括：轴承座组件，包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔；推板，推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，驱动机构与推板连接；滑...

本实用新型公开了一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，涉及半导体行业废气处理设备技术领域，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，本实用新型结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶...