本发明提供一种晶圆衬底定位方法、装置、设备、存储介质及程序产品，涉及半导体技术领域，该方法不依赖于晶圆衬底图像和边缘检测算法，而是通过晶圆衬底旋转过程中采集的数据进行计算，确定晶圆衬底与旋转吸盘之间的偏差，并基于晶圆衬底与旋转吸盘之间的...

发明涉及机械加工技术领域，尤其涉及一种夹具及加工设备，夹具设置于旋转机构上，旋转机构包括第一旋转部和第二旋转部，第一旋转部可围绕第一中心线旋转，第二旋转部设置于第一旋转部的活动端，并可围绕第二中心线旋转；夹具包括底座、直线驱动机构和装夹...

本发明提供一种工件的加工精度提升方法以及加工方法，方法包括：获取基于第一加工路线进行加工得到的待补加工工件；基于各测量点的实际位置与理论位置进行计算，得到各测量点的偏差；基于各测量点的偏差，对第二加工路线进行反向补偿，得到第二修正加工路...

本发明涉及晶圆衬底倒角技术领域，提供一种晶圆衬底自动倒角机床及倒角方法，其中包括机床主体、加工治具、备料装置、料篮、晶圆定位台、插篮机械手、上下料机械手和甩干台，晶圆定位台上设有纠偏传感器，纠偏传感器适用于检测待加工晶圆衬底的圆心位置和...

本发明涉及机械防护技术领域，提供一种卷帘防护结构和机械设备，卷帘防护结构包括导轨组件和多个卷帘组件，导轨组件包括安装导轨，安装导轨包括至少一段弯折段和至少两段平直段，两段平直段之间通过弯折段相连接，安装导轨开设有安装导槽；多个卷帘组件装...

本发明涉及晶圆生产设备领域，提供一种晶圆衬底定位装置，包括：装置主体、纠偏组件和调整机构，纠偏组件包括纠偏安装架、旋转盘和纠偏传感器，纠偏安装架安装于装置主体，旋转盘转动连接于纠偏安装架，旋转盘用于放置待定位的晶圆衬底，纠偏传感器安装于...

本技术属于数控机床领域，提供一种对刀仪安装结构及机床。包括支座、基板、移动导轨、移动驱动装置、滑动安装板和对刀仪，支座与机床固定联接，基板安装于支座上；移动导轨和移动驱动装置安装于基板上，滑动安装板通过滑块作用于移动导轨上，并与移动驱动...

本技术涉及一种旋转接头，包括内轴、外轴、第一轴承和第二轴承，外轴通过第一轴承和第二轴承支承于内轴上，外轴和内轴可相对转动；外轴和内轴之间间隙配合；内轴由多个内轴轴段固接而成，每一个内轴轴段上分别设置有数量不等的轴向孔，轴向孔在内轴上连接...

本技术涉及一种立式机床的Z轴移动驱动结构，包括安装底板、主轴安装座、电主轴、驱动电机、Z向导轨和平衡气缸，Z向导轨固定于安装底板上，主轴安装座滑动安装于Z向导轨上，可在驱动电机作用下沿Z向导轨上下移动，驱动电机安装于安装底板上；电主轴安...

本技术涉及一种适用于弱刚性零件加工的四轴数控机床，包括床身、转台座体、第一旋转工作台和第二旋转工作台，转台座体安装于床身前部，第一旋转工作台和第二旋转工作台均安装于转台座体上，并且左右相对设置，可分别绕A轴同步或单独转动。本技术安装刚性...

本发明涉及自动化装配技术领域，提供一种弹簧分拣装置及装配系统，弹簧分拣装置包括机架、料仓、取料机构和筛选机构。料仓设有取料口；取料机构包括取料驱动组件、取料组件和料道组件，取料驱动组件设于机架，取料组件设于取料驱动组件，取料组件适于在取...

本技术涉及一种机械零件外表面打磨设备，包括打磨台、夹持器和打磨器，夹持器安装于打磨台上，打磨器设置于夹持器上方；夹持器包括夹持板、旋转驱动装置和夹持调整装置，两个夹持板相对设置，可将机械零件夹紧于该两个夹持板之间；夹持板分别安装于两个旋...

本技术涉及一种可进行多类型加工的数控机床，包括床身、立柱、横梁、主轴、双轴转台、刀库和换刀臂，立柱和横梁组成龙门结构固定于床身上；主轴安装于横梁上，并可沿X轴方向和Z轴方向往复移动；双轴转台滑动安装于床身上，可沿Y轴方向往复移动；刀库安...

本技术涉及一种数控机床的悬臂式转台结构，包括基座、摆动轴、五轴桥板、旋转轴、工作台、砂轮修整器和砂轮直径测量仪，摆动轴安装于基座内，五轴桥板安装于摆动轴上，可在摆动轴带动下绕第一方向轴线往复摆动；旋转轴安装于五轴桥板内，一方面随五轴桥板...

本技术涉及一种滚珠丝杠进给机构性能测试平台，包括基座、前轴承座、后轴承座、丝母座、移动测试台、伺服电机、直线导轨、滚珠丝杠和丝杠双螺母，前轴承座、后轴承座和直线导轨均固定于基座上；滚珠丝杠分别通过前轴承座和后轴承座内的轴承支承，并与伺服...

本技术涉及一种液压刀柄的高压密封及压力调节结构，包括刀柄基体、活塞杆、O型密封圈、螺纹套和螺钉，刀柄基体上设置有活塞腔、密封腔和螺纹腔，活塞腔、密封腔和螺纹腔依次呈阶梯孔结构分布；螺纹套固定于螺纹腔内；活塞杆一端设置于活塞腔内，另一端从...

本发明涉及机床技术领域，提供一种机床及机床的换刀方法，其中，机床包括床身、主轴箱、刀库系统和换刀装置，主轴箱设于床身，刀库系统设于床身一侧，刀库系统包括刀库装置、推出装置和备刀装置，刀库装置存储刀具，备刀装置从刀库装置取下目标刀具或将刀...

本发明涉及数控机床技术领域，提供一种柔性自动门及立式加工中心，柔性自动门包括门框、柔性门体、导向组件和驱动部件。门框限制出开口；柔性门体可开合地设于开口，柔性门体的一侧与门框连接，柔性门体与一侧相对的另一侧设为活动侧；导向组件包括活动配...

本技术涉及一种刀库换刀送刀装置，包括驱动装置、双面凸轮、上下滑动装置、前后移动装置、提升装置和刀套，双面凸轮在驱动装置作用下转动；上下滑动装置和前后移动装置分别与双面凸轮联接，在双面凸轮转动带动下可分别沿上下方向和前后方向移动；提升装置...

本技术涉及一种调心工作台，包括基座、调心层和工件安装板，基座、调心层和工件安装板沿轴线方向依次安装；调心层设置有X向滑块和Y向滑块，X向滑块和Y向滑块位于同一平面内，均与工件安装板固定联接，可分别带动工件安装板一起沿X方向和Y方向滑动。...