公开一种用于改进工厂中的设备的自动作业管理的实现的方法和装置。提供软件库，其允许诸如薄工作站控制器客户端的作业管理客户端与诸如设备接口桥（ＥＩＢ）的设备服务器通信。该作业管理客户端能够利用工业标准协议方便和有效地创建、控制和监视作业。该...

公开了一种改进工厂中设备的自动化工作管理的实现的方法与装置。配备多协议多客户端设备服务器，用来利用多个协议与设备和客户端通信。设备服务器包括每个工具的对象模型，并且实时地与工厂设备直接通信。通过提供多协议多客户端平台，将数据使用客户端有...

一种通用ＳＭＩＦ容器接口和晶片盒传送装置（１００），可构成为分度器或负载通道开启器。该装置包括具有中心开口（１７５）的通道板（１０２）和通道门（１０４），当没有容器时，所述通道门配置在中心开口内并密封中心开口。该装置还包括线性驱动螺杆（...

一种ＳＭＩＦ接口设备，用于把一个或多个装填盒（１１０）缓冲在与加工工具相连的小环境（１２０）内。这种接口设备包括装载口，由出口门（１１２）和周围的出口板（１１４）构成；一小环境，安装在出口板上。这种ＳＭＩＦ接口设备和／或加工工具包括至少...

一种人机工程型装放装置（１００），用于一无盖盒器可以容易被装放和卸取的一Ｉ／Ｏ孔口，在装放一盒器之后隔开操作人与Ｉ／Ｏ孔口以尽量减少安全风险和尽量减少在孔口上时围绕各工件的粒状物和夹杂物的数量。装放装置（１００）包括一封盖装置，具有一个...

本发明公开了一种可在分配盒（１３０）和ＳＭＩＦ容器（１１６）之间传送工件暗盒（１２３）的传送机构。该传送机构包括一个支架（１０２），支架（１０２）具有在其第一侧上用于支撑ＳＭＩＦ容器的一个第一支撑平台（１１４），和在其第二侧上用于支撑分...

本发明公开了一种能够在装载口监测晶片载体的多个性能特征的系统以及一种用于在大量制造的基础上进行载体管理操作的系统。

本发明公开了设置用于ＳＭＩＦ容器的阀（３０），用于启动或停止流向平台（２０）上的容器的气流。该阀（３０）包括可以在第一闭合位置和第二开启位置之间移动的提动头。在支承平台（２０）上没有容器时，来自气体源的加压气体偏压提动头进入第一位置。

公开了一种模块分选器，其中通过一个特殊的晶片制作过程可容易地实现添加和拆卸模块部分，以根据需要添加和拆卸装载口组件。在一个实施例中，根据本发明的模块分选器包括：为分选器限定一个小环境的一个双宽度模块部分；一个晶片处理机器人；一对校准器和...

本发明公开了一种能够并行处理工件的，带有双操作手端部操作器（１０８）的机器人。端部操作器（１０８）包括转动地连接在远端连杆（１０６）一端的下操作手（２５０），以及转动地连接于下操作手（２５０）的上操作手（２５２）。下操作手支承着能够使上...

本发明公开了一种用于传输工件的晶片处理机器人（１００）。该机器人包括具有给机器人提供稳定性的刚性构架（１１２）的基体（１０２）。基体还包括支柱（１１６）、用于移动支柱的线性驱动系统（１２２）、以及用于转动支柱的肩台驱动器（１２０）。肩台...