本实用新型的一种压电形状确定的整体式薄膜压力传感器，包括封装层、电极层和功能层；功能层为薄膜结构，包括压电区和绝缘区，压电区的压电形状确定；电极层包括上电极、下电极，上电极和下电极分别对应设置在压电区的上、下一侧，将压电区的电信号引出；...

本发明的一种压电形状确定的整体式薄膜压力传感器及制备方法，包括封装层、电极层和功能层；功能层为薄膜结构，包括压电区和绝缘区，其中压电区的压电形状确定；电极层包括上电极、下电极，上电极和下电极分别对应设置在压电区的上、下一侧，将压电区的电...