本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐，所述真空压力罐的左侧横向设置有连接管，所述连接管的左端设置有连接法兰，所述真空压力罐的顶部左右两侧均设置有密封法兰，本实用新型...

本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳，所述保护外壳的左右侧壁均开设有安装卡槽，所述安装卡槽的内腔隼接有安装定位板，所述保护外壳的外壁设置有温控开关，本实用新型通过温度传感...

本发明涉及金属工件防腐蚀技术领域，具体涉及用于杆状金属零件表面的真空镀膜装置及镀膜方法，两靶交替进行工作，避免了靶材中毒的情况，充分结合了磁控溅射放电和空心阴极放电的特点，相对于传统磁控溅射方法，具有沉积速率高的优点；溅射镀膜过程在溅射...

本实用新型公开了一种真空镀膜机上料快装结构，包括端面盲法兰、腔体外壳、靶源、锁紧螺栓、端面法兰、快锁端盖、钢化玻璃、高介电常数隔套和支撑密封盘，所述端面盲法兰与腔体外壳紧密相连，所述靶源位于腔体外壳的内表面，腔体外壳与端面法兰之间通过锁...

本实用新型公开了一种镀膜机镀铬层修复装置，包括真空室腔体、靶材和工件，所述真空室腔体为圆柱体形，所述靶材嵌入在真空室腔体的周围的腔体壁上，所述工件安装在真空室腔体的底部中间凸起的底座位置，所述真空室腔体的底部与真空室腔体的侧壁之间为组合...

本实用新型公开了一种合金材料真空溅射镀膜机，包括镀膜机开口端、镀膜腔体和镀膜机尾部，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体和镀膜机尾部之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体...

真空镀膜装置，包括呈筒状的带有夹层的冷却水套，所述冷却水套的两端分别设置端盖进行密封，所述端盖与所述冷却水套之间通过紧固机构绝缘连接，其中一个端盖上设有供待处理零件进入所冷却水套的第一通孔，另一个端盖上设有抽真空接口、工作气体接口以及真...

本实用新型公开了一种用于修复零件表面金属镀层缺陷的磁控溅射装置：由下真空室以及与下真空室密封对接的上真空室构成真空腔，在真空腔内架设有样品台，所述样品台通过绝缘支撑连接于下真空室内壁；在样品台下方或内部设置有加热元件，并设置与所述加热元...