安徽华芯半导体有限公司专利技术

安徽华芯半导体有限公司共有11项专利

  • 一种单晶炉二次加料方法
    本发明公开了一种单晶炉二次加料方法,属于单晶硅制备领域。本发明的二次加料方法,包括如下步骤:步骤ST1、准备阶段;步骤ST2、二次加料装置定位阶段;步骤ST3、点动加料阶段;步骤ST4、二次加料装置取出阶段。本发明主要实现了在单晶炉拉制...
  • 本实用新型公开了一种带隔离阀的单晶炉,属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构,侧开式副室下部设有隔离阀,隔离阀包括隔离电机、连轴、阀座、阀盖和转动臂,阀座安装于侧开式副室下部横截面上,连轴的一端固连有连轴齿轮...
  • 本实用新型公开了一种大直径单晶炉,属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括副室、炉筒、晶体提升机构和底座,自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机,立轴位于侧开式副室的一侧,副室旋转轴通过连接件与侧开式副室固连;电机的输出轴与电机齿轮固...
  • 本实用新型公开了一种多晶硅挤压破碎装置,属于多晶硅破碎器具技术领域。本实用新型包括护罩、支架、偏心轴、破碎动块、破碎定块和限位机构,支架上安装有护罩,护罩的内部下侧固定有破碎定块,破碎动块正对破碎定块设置,破碎动块的下端铰接在限位机构上...
  • 本实用新型公开了一种带自动旋转机构的单晶炉副室,属于单晶炉的制造领域。本实用新型的带自动旋转机构的单晶炉副室,包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室,自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机,立轴位于侧开式副室的一侧,副室旋转轴通...
  • 本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉,属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构,侧开式副室为一体式结构;副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈,该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起,密...
  • 本实用新型公开了一种单晶炉副室,属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括一体式结构的侧开式副室,侧开式副室下部设有隔离阀,隔离阀包括隔离电机、连轴、阀座、阀盖和转动臂,阀座安装于侧开式副室下部横截面上,阀座上设有圆形通孔;隔离电机的输出轴上...
  • 本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室,属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括一体式结构的侧开式副室,该侧开式副室包括内部设有空腔的副室主体和门板,副室主体一侧面上设有开口,门板通过铰链转动连接在副室主体上,门板...
  • 本实用新型公开了一种单晶炉,属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括副室、炉筒、晶体提升机构和底座,副室包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室;副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈,该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起,密封圈本体的...
  • 本实用新型公开了一种单晶炉二次加料系统,属于单晶硅制备领域。本实用新型的单晶炉二次加料系统,包括单晶炉主体和二次加料装置,二次加料装置包括钼制加料筒、不锈钢套筒、钼制连杆和石英锥,不锈钢套筒架设在钼制加料筒的内部中心位置;石英锥的形状为...
  • 一种单晶炉二次加料系统
    本发明公开了一种单晶炉二次加料系统,属于单晶硅制备领域。本发明的单晶炉二次加料系统,包括单晶炉主体和二次加料装置,二次加料装置包括钼制加料筒、不锈钢套筒、钼制连杆和石英锥,不锈钢套筒架设在钼制加料筒的内部中心位置;石英锥的形状为正三棱锥...
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