本公开的各方面涉及将在平面硅平台上制造的光学陀螺仪作为光子集成电路与MEMS加速度计单片集成在同一裸片上。可由控制所述光学陀螺仪的电子电路控制所述加速度计。可在相邻波导线匝之间引入间隙以减少串扰并且提高所述光学陀螺仪的灵敏度和堆积密度。...

本公开内容的方面涉及用于光学陀螺仪应用的基于紧凑型超低损耗集成光子学的波导的配置，以及制造那些波导以便于大规模制造的方法。描述了四个主要工艺流程：(1)基于氧化物沉积和退火的重复序列的工艺流程；(2)基于化学机械抛光(CMP)的工艺流程...

一种集成光子光学陀螺仪，所述集成光子光学陀螺仪制造在氮化硅(SiN)波导平台上，所述集成光子光学陀螺仪包括：第一部分，所述第一部分具有构成旋转传感元件的氮化硅(SiN)波导；以及第二部分，所述第二部分具有构成前端芯片的另外的基于氮化硅(...

在氮化硅(SiN)波导平台上制成的集成光子光学陀螺仪包括第一直波导，所述第一直波导用于接收入射光并且输出出射光以耦合到光电探测器以提供用于旋转感测的光学信号。陀螺仪包括邻近第一直波导的第一微型谐振器环。光从第一直波导渐逝耦合到第一微型谐...

本公开内容涉及激光器、电子器件、基于集成光子的光学组件和传感芯片的系统级集成。充当前端芯片的集成光子芯片上的新型波导设计确保精确检测光纤线圈或具有波导线圈或环形谐振器的传感芯片中的相变，其中所述发送芯片耦合到所述前端芯片。当激光耦合到所...

本文公开的新型小尺寸集成光子光学陀螺仪可提供0.05