披露了用于产生微波等离子体的系统和方法。本发明提供了微波等离子体喷嘴（２６），它包括气流管（４０）和棒状导体（３４），该棒状导体设置在气流管（４０）中并具有位于气流管（４０）的出口附近的尖端（３３）。棒状导体（３４）的一部分（３５）延伸...

本发明提供了微波等离子体喷嘴阵列系统（１０，７０，２３０和３１０）和用于设置微波等离子体喷嘴阵列（３７，９９和３３７）的方法。以特定方式将微波传输至微波空腔（３２）并且在微波空腔（３２）内形成包括高能量域（６９）的干涉图（６６）。高能量...