本技术公开了一种晶圆盒搬运复合机器人，涉及晶圆机器人技术领域，包括机器人双向叉臂和用于对机器人双向叉臂密封防护的防护组件，所述防护组件包括安装在机器人双向叉臂外部的防护外壳，所述防护外壳的前侧开设有滑槽。本技术中，机器人双向叉臂在防护外...

本技术公开了一种夹持装置及晶圆盒搬运机器人，涉及搬运机器人技术领域，包括叉臂和安装在叉臂上用于夹取晶圆盒的夹爪；所述叉臂包括基体，所述基体顶面前侧安装有进气喷嘴、出气喷嘴和接触传感器，所述基体顶面后侧还安装有直通式两通电磁阀、流量传感器...

本技术公开了一种半导体晶圆转运存储装置，涉及半导体晶圆片存储技术领域，包括：盒体和盖设在盒体上的盒盖；用于将晶圆固定在盒体内的收纳组件；所述收纳包括固定安装在盒体内部的隔板，所述隔板顶面对称滑动安装有支撑板，两个所述支撑板相对侧均安装有...

本发明公开一种堆垛机器人的搬运溯源方法及装置，根据搬运计划表触发堆垛机器人对工件的搬运，以便于堆垛机器人有序地搬运工件，并采集工件的排列图像，以便于对工件的摆放进行动态跟踪，从而对工件的排列图像的空白处进行查询，以便于根据空白处的空间坐...

本发明公开一种堆垛机器人的动力建模方法及装置，通过码垛臂的负载和工件的移动轨迹触发底座、开合臂和码垛臂之间的动态体系，以便于在动态体系对底座、开合臂和码垛臂进行动力调整，并基于开合臂的开合幅度调控动力模型的动力分配等级，进一步底座、开合...

本技术公开了一种半导体晶圆片存取机械手装置，包括滑轨，所述滑轨上滑动安装有机械臂，所述机械臂表面通过驱动气缸固定安装有真空底座，所述真空底座下表面开设有多个吸附孔，所述真空腔内固定安装有多个支撑架，多个所述支撑架表面开设有移动孔，多个所...

本发明公开一种堆垛机器人对晶圆盒的补偿方法及装置，定位处于待处理空间的晶圆盒；对待处理空间定义坐标系，并针对晶圆盒形成定位坐标；在堆垛机器人的机械臂移动晶圆盒时，采集晶圆盒的移动信号；根据晶圆盒的移动信号触发晶圆盒的动态跟踪，并实时监控...

本技术公开了一种工业用半导体晶圆堆垛机器人，包括安装座，所述安装座下表面水平开设有安装槽，所述安装槽内水平转动安装有往复丝杆，所述往复丝杆上对称螺纹套接有滑块，所述滑块表面通过连杆固定安装有弧形的夹持板，两个所述滑块的顶端均水平滑动配置...

本实用新型公开了一种堆垛机器人行走机构，包括行走底板，所述行走底板上安装有堆垛机器人主体，所述行走底板上设置有调节机构，所述调节机构包括行走底板上滑动设置的两个推板，每个所述推板上均开设有导向槽，所述行走底板上转动设置有中心轴，所述中心...

本发明公开了一种半导体晶圆盒智能堆垛工业机器人，包括：底座，所述底座为矩形座，且表面设置有放置组件，所述放置组件包括放置座和移动板，所述放置座为圆形座，且固定连接在底座上表面，所述放置座中部开设有凹槽，所述移动板为圆形，且卡设在凹槽内部...

本发明公开了一种半导体晶圆生产用堆垛机器人分拣装置，包括底座；所述夹持组件包括与堆垛组件安装的安装板、左右两端螺纹方向相反的螺纹杆、两个对称螺纹套接在螺纹杆上的滑块和两个夹持爪，所述安装板下表面水平开设有安装槽，所述螺纹杆水平转动安装在...